EBARA 荏原ESR20N節能型干式真空泵
EBARA 荏原ESR20N節能型干式真空泵
轉子設計和怠速功能,實現節能和小型化。 它有助于降低運營成本。 耐腐蝕材料選項可用于廣泛的應用,從負載鎖和 SEM 等輕負載應用到腐蝕性工藝。
特長
通過寬范圍溫度控制實現廣泛的工藝覆蓋
節能·省空間
應對腐蝕性氣體(標準采用耐腐蝕材料)
對應應用示例:各種蝕刻和CVD、灰化、離子注入、外延生長等
型 | 單位 | ESR20N | ESR30型 | ESR30N | ESR500W(N) | |
冷卻水 | 流量 | 升/分鐘 | 2~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 |
溫度 | °C | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | |
權力 | 功率容量 | 千伏 | 4 | 7 | 7 | 12.3 |
排氣速度 | 升/分鐘 | 1,300 ~ 2,000 | 3000 | 3000 | 46000 | |
達到壓力 | 帕 | 2 | 0.53 | 0.67 | 0.2 | |
連接口徑 | 進氣 | NW40 | 西北50 | 西北50 | ISO160 認證 | |
排氣口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
達到壓力時的近似功率。 | 千瓦 | 0.7 | 1.7 | 1.7 | 3.1 | |
N2 | 流量 | Pa•m3/s | 19~22 (0) | 19~22 (3.4) | 19~22 (3.4) | 19~22 (3.4) |
電源相位/電壓/頻率 | 200V 型號 | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | |
400V 型號 | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | ||
原理圖質量 | 公斤 | 90 | 190 | 190 | 500 |
相關產品
免責聲明
- 凡本網注明“來源:化工儀器網”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品,未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的,應在授權范圍內使用,并注明“來源:化工儀器網”。違反上述聲明者,本網將追究其相關法律責任。
- 本網轉載并注明自其他來源(非化工儀器網)的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責,不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時,必須保留本網注明的作品第一來源,并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題,請在作品發表之日起一周內與本網聯系,否則視為放棄相關權利。