一、校準前準備

1. 設備與工具檢查

• 確認待校準熱傳導真空計（以下簡稱 “被校計”）外觀完好，熱絲無斷裂、松動，電路連接正常（通電后能正常顯示）。

• 準備標準真空計（精度需高于被校計 1~2 個等級，如被校計允許誤差 ±10%，標準計需≤±5%）、真空系統（包括真空泵、真空閥門、管道、真空規管接口）、恒溫裝置（控制環境溫度 20±2℃，避免溫度波動影響熱傳導）。

• 檢查真空系統的氣密性：關閉所有閥門，抽真空至 1Pa 以下，靜置 30 分鐘，壓力上升率應≤0.1Pa/h（確保無泄漏）。

2. 環境與參數設定

• 校準環境需無強電磁干擾、振動（振幅＜0.1mm），相對濕度≤60%。

• 被校計與標準計需提前通電預熱（按說明書要求，通常 30~60 分鐘），確保電路穩定。

二、校準系統連接

1. 機械連接

• 將被校計的規管與標準計的規管通過三通或多通接口并聯接入同一真空腔體（確保兩者測量的是同一壓力點，減少管路死體積影響）。

• 連接真空泵（如旋片泵 + 擴散泵組合，覆蓋熱傳導真空計的量程，通常 10?~10?1Pa），在管道中安裝微調閥門（用于精確調節腔內壓力）。

2. 電氣連接

• 分別連接被校計與標準計的電源、信號線，確保兩者正常顯示壓力值（若為數字式，需記錄小數點后至少 3 位；指針式需估讀至最小刻度的 1/10）。

三、校準點選擇與壓力調節

1. 確定校準點

• 覆蓋被校計的全量程，按均勻分布原則選取 5~7 個點（如量程 10?~10?1Pa，可選 10?Pa、10?Pa、103Pa、102Pa、101Pa、10?Pa、5×10?1Pa）。

• 優先選擇量程內的關鍵節點（如滿量程的 10%、50%、90%），確保高、中、低壓力段均被覆蓋。

2. 調節壓力至校準點

• 啟動真空泵，先抽至系統極限真空（低于被校計最小量程），再通過微調閥門緩慢通入干燥氮氣（或空氣，需無油、無塵），逐步升高壓力至第一個校準點（如 10?Pa，即大氣壓附近）。

• 穩定壓力：每個校準點需保持壓力波動≤±2%（如 103Pa 校準點，波動需≤±20Pa），靜置 5~10 分鐘，待被校計與標準計示值穩定后再記錄數據。