一、產品概述

• 品牌：日本Tekhne
• 用途：用于監(jiān)測半導體制造過程中超純氣體的濕度，確保氣體的純度和干燥度。
• 目標客戶：半導體制造企業(yè)、電子材料供應商、科研機構等。

二、主要特點

1. 高精度測量
• 測量范圍：能夠測量極低的露點溫度，通常在-100°C至0°C之間，適用于超純氣體的濕度監(jiān)測。
• 測量精度：露點溫度測量精度可達±0.1°C，確保測量結果的高可靠性。
• 重復性：測量結果具有高重復性，確保長期穩(wěn)定的監(jiān)測效果。
2. 快速響應
• 快速測量：能夠在短時間內完成露點溫度的測量，快速響應濕度變化。
• 實時監(jiān)測：支持實時數據輸出，便于用戶及時調整氣體干燥系統(tǒng)。
3. 高穩(wěn)定性
• 傳感器技術：采用先進的傳感器技術，確保在惡劣環(huán)境下的穩(wěn)定性和可靠性。
• 溫度補償：內置溫度補償功能，確保在不同環(huán)境溫度下的測量精度。
4. 數據管理
• 數據記錄：設備內置數據記錄功能，可存儲大量的測量數據。
• 數據輸出：支持USB、LAN等多種數據輸出方式，方便用戶將數據導入計算機進行分析。
• 數據分析：配備專業(yè)的數據分析軟件，可對測量數據進行統(tǒng)計分析，生成報表。
5. 用戶友好
• 操作簡便：配備直觀的用戶界面，操作簡便，無需復雜培訓。
• 校準功能：設備內置校準功能，用戶可以定期進行校準，確保測量精度。

三、技術參數

• 測量范圍：
• 露點溫度：-100°C至0°C
• 濕度范圍：1 ppmv（百萬分之一體積比）至100% RH（相對濕度）
• 測量精度：
• 露點溫度精度：±0.1°C
• 濕度精度：±1% RH
• 響應時間：小于1分鐘
• 傳感器類型：高精度露點傳感器
• 數據存儲：內置大容量存儲器，可存儲數月的數據
• 數據輸出：USB、LAN、RS-232C等多種接口
• 環(huán)境要求：
• 溫度：-10°C至50°C
• 濕度：0%至95% RH（無凝結）
• 電源要求：AC 100V-240V，50/60Hz，功率約100W
• 尺寸與重量：
• 尺寸：約400mm（寬）×300mm（深）×200mm（高）
• 重量：約10公斤

四、應用領域

1. 半導體制造
• 晶圓制造：在晶圓制造過程中，監(jiān)測超純氣體（如氮氣、氬氣、氦氣等）的濕度，確保氣體的純度和干燥度。
• 光刻工藝：在光刻過程中，監(jiān)測光刻氣體的濕度，確保光刻工藝的精度。
2. 電子制造
• 電子元件制造：監(jiān)測電子元件制造過程中使用的超純氣體的濕度，確保元件的性能和可靠性。
• PCB制造：監(jiān)測PCB制造過程中使用的氣體的濕度，確保焊接質量和可靠性。
3. 科研機構
• 材料研究：在材料研究中，監(jiān)測實驗氣體的濕度，確保實驗結果的準確性。
• 工藝開發(fā)：在新工藝開發(fā)過程中，監(jiān)測氣體的濕度，優(yōu)化工藝參數。

五、操作流程

1. 開機準備
• 打開設備電源，進行開機自檢。
• 確保設備處于清潔狀態(tài)，檢查傳感器和測量裝置是否正常。
2. 氣體連接
• 將待監(jiān)測的超純氣體管道連接到露點儀的進氣口。
• 確保氣體流量穩(wěn)定，符合設備要求。
3. 自動測量
• 設備自動開始測量氣體的露點溫度和濕度，測量結果實時顯示在屏幕上。
• 測量數據自動記錄并存儲。
4. 數據輸出
• 檢測完成后，用戶可以通過USB接口或網絡接口將數據導出到計算機。
• 使用數據分析軟件對數據進行統(tǒng)計分析，生成檢測報告。
5. 設備維護
• 定期對設備進行清潔和校準，確保設備的長期穩(wěn)定運行。

六、優(yōu)勢與價值

1. 高精度：能夠測量極低的露點溫度，確保超純氣體的濕度控制。
2. 快速響應：快速測量和實時監(jiān)測，便于及時調整氣體干燥系統(tǒng)。
3. 高穩(wěn)定性：先進的傳感器技術和溫度補償功能，確保設備在惡劣環(huán)境下的穩(wěn)定性和可靠性。
4. 數據管理：支持數據記錄、存儲和輸出，方便用戶進行數據分析和質量控制。
5. 用戶友好：操作簡便，內置校準功能，確保測量精度。

七、售后服務

• 技術支持：提供專業(yè)的技術支持，包括設備安裝、調試、培訓和維護。
• 保修服務：設備提供一年有限保修服務，保修期內免費維修和更換零部件。
• 備件供應：提供充足的備件供應，確保設備的長期穩(wěn)定運行。