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廠家指定一級代理!!ULVAC愛發科螺桿式干式真空泵MS1200A

來源:深圳市京都玉崎電子有限公司   2025年08月15日 15:21  

 

一、核心產品系列

  1. ?油旋片真空泵?

    • 型號:VDN、PVD、VSN系列,GLD系列(高性能、低震動、低噪音)

    • 特點:優化散熱設計,油位觀察窗便于監測油污染狀況

    • 應用:真空鍍膜、分析儀器、半導體制造設備等35

  2. ?干式真空泵?

    • 防腐涂層處理轉子軸與氣缸,增強耐腐蝕性

    • 特殊轉子設計提升粉末排出性能

    • 用途:半導體刻蝕/去膠設備、鋰電池電極干燥、醫療冷凍干燥等4

    • ?MS系列螺桿泵?(如MS600A):

二、創新 技術

  1. ?多重密封結構?

    • 通過導氣槽設計引導氣流,防止真空腔內雜質磨損轉軸及齒輪,提升密封性1

  2. ?真空檢漏裝置?

    • 結合氮氣源與真空計檢測壓力回升值,通過算法精準判斷工件泄漏,提高檢測效率2

三、應用領域

  • ?半導體制造?:刻蝕設備、等離子清洗設備真空排氣4

  • ?新能源?:鋰電池注液、電極干燥工藝4

  • ?工業設備?:真空熱處理爐、真空干燥系統


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