CCI HD非接觸式白光干涉輪廓儀基礎測量:提供尺寸和粗糙度測量功能。
膜厚測量:支持兩種類型的膜厚測量,涵蓋厚膜和薄膜涂層:
厚膜測量:可研究厚度至約 1.5 微米的半透明涂料,測量限制取決于材料的折射率和標的物的 NA。
薄膜測量:能測量厚度至 50 納米的薄膜涂層(同樣取決于折射率),且通過干涉測量法,可在單次測量中同時研究膜厚、界面粗糙度、針孔缺陷以及薄涂層表面的剝離等特性。
技術特點
采用享有優勢的新型關聯算法,用于查找由精密光學掃描裝置產生的干涉圖的相干峰和相位,整合了非接觸式尺寸測量功能和良好的厚薄膜測量技術,能應對薄膜涂層測量難度更高的挑戰。
免責聲明
- 凡本網注明“來源:化工儀器網”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品,未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的,應在授權范圍內使用,并注明“來源:化工儀器網”。違反上述聲明者,本網將追究其相關法律責任。
- 本網轉載并注明自其他來源(非化工儀器網)的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責,不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時,必須保留本網注明的作品第一來源,并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題,請在作品發表之日起一周內與本網聯系,否則視為放棄相關權利。