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日本ULVAC愛發(fā)科螺桿型干泵MS1200A北崎熱賣

來源:北崎國際貿(mào)易(北京)有限公司   2025年08月19日 11:02  

螺桿型干泵Model:MS

特點(diǎn)


  • 通過對轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進(jìn)行特殊涂層處理,以防腐蝕。

  • 采用ULVAC設(shè)計(jì)的轉(zhuǎn)子軸,實(shí)現(xiàn)高性能的排粉。

  • 從大氣壓到極限壓力,可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運(yùn)行。

用途



  • 半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、等離子清洗設(shè)備等。

  • 真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng),如燒結(jié)爐、滲碳爐等。

  • 鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng),如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。

  • 醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。


規(guī)格


型式MS120AMS600AMS1200A
最大排氣速度 *1m3/h115560980
到達(dá)壓力Pa≦0.6≦0.1
電源電壓200V Class:3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class:3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10%
消費(fèi)電力概略值 *2kW2.43.13.1
冷卻水量L/min>4.0
Purge gas量 *1SLM0~50
最大水蒸氣處理量 *1*3kg/h1.5
噪音值 *1dB(A)616264
吸氣口KF50(Horizontal) / VG50(Vertical)ISO-F-80ISO-F-100
排氣口KF40
質(zhì)量 *4kg139241264
適用規(guī)格CE、cTUVus
標(biāo)準(zhǔn)附屬品Quick manual, Power connector, Waterproof cable clamp, Remote connector, Guard for power connector, Silencer
本體選配件Power supply:200V Class or 400V Class
Material of seal:FKM or FFKM
外部選配件Packege Exhaust port, Earthquake-proof Bracket, LR compatible Unit(Inlet, Remote), Purge gas valve

*1:到達(dá)壓力時(shí)
*2:At ultimate pressure (reference only)
*3:Purge gas使用時(shí)的最大水蒸氣處理量
*4:Including a silencer


排氣速度曲線

  • MS120A
    ms120a_curve.png

  • MA600A
    ms600a_curve.png

  • MS1200A
    ms1200a_curve.png







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