總裝前真空泵殼止口間隙測量，目的是檢查兩泵殼之間的同心度。檢查導葉輪沖刷磨損狀況，測量導葉輪與泵殼的徑向間隙和軸向間隙，目的是檢查泵殼壓緊后，導葉的密封及預緊力。拆下軸承蓋，用壓鉛絲法測記軸承緊力及軸承間隙，然后拆下兩端軸承及托架。拆除高壓端尾蓋，測量平衡盤的竄動量，將百分表垂直裝在軸的端面，沿軸承向來回撬動軸，到撬動不動時讀數，來回的讀數差，即為平衡盤的竄動量。

拆下高壓側軸套螺帽，取出軸套及平衡盤，用一套裝在平衡盤位置，再將軸套與其螺帽裝復，用上述方法測記轉子總竄動量。再拆除低壓端尾蓋，進水段泵殼，軸套及拉出首級葉輪后，拆下穿桿螺栓，按從高壓端側到低壓側的順序，依次拆下各級泵段，葉輪及軸套等。清除葉輪內外表面，泵殼結合面，密封環，導葉輪和軸套等處的水垢及鐵銹，并檫干凈。

檢查真空泵平衡盤要動、靜盤接觸面積達百分之七十五為合格。泵軸彎曲度測量，彎曲度一般不超過0.05mm，軸表面應光滑無裂紋。葉輪磨損狀況，葉輪內孔與軸的配合間隙，口環處與密封環的間隙。轉子的試裝要將葉輪、平衡盤、軸套從低壓側到高壓側的順序依次裝在軸上，擰緊軸套螺帽，然后用百分表分別側記各部位的晃動。目的是消除轉子緊態晃動，以免內部摩擦，減少振動。

按解體步驟的方法從低壓端開始按順序組裝。首級葉輪出口中心的定位，要求葉輪的出口槽道中心，必須對正導葉的入口槽道中心，如果不垂合就會降低水泵的效率。組裝完畢檢查轉子總竄動量和軸向位置調整。推力盤軸承的調整可根據推力盤與推力瓦塊的間隙來調整工作瓦塊背部的墊片。轉子與靜子同心度的調整；調整軸承架下的調整螺栓，或者軸瓦下面的墊片厚度。盤根裝填，壓蓋的松緊調整應適當，壓的過送容易滲透，壓的過緊盤根與軸套發熱，甚至燒毀。調整試運行。

通過上述對真空泵的檢修拆裝，熟悉并了解多級其結構用途和工作性質，有利真空泵工作的延續性。