光刻膠 SPR 955系列

光刻膠SPR955產(chǎn)品介紹：

SPR 955-CM系列，正膠、紫外光刻膠。

光源推薦：i-Line。

單層厚度：0.7-3.5um。

光刻膠SPR955型號：

SPR 955-0.7/SPR 955-0.9/SPR 955-1.1/SPR 955-1.4/SPR 955-1.8/SPR 955-2.1

光刻膠SPR955應(yīng)用：

MEGAPOSIT SPR955-CM系列光刻膠是一種通用的、高分辨率的i-Line光刻膠，可用于0.35µm的前端和后端應(yīng)用。也與底層膠LOR/PMGI-SF搭配，做lift-off 工藝。

光刻膠SPR955特性：

● 高分辨率（undercut）

● 在多晶硅實現(xiàn)高密度線條和空間，或者獨(dú)立線條。

● 在氮化鈦上實現(xiàn)高密度，高深寬比的線條和空間

● 在氧化硅上刻蝕密集孔

● 高深寬比的孔

● 靈敏度高