Nanovea三維表面形貌輪廓儀ST400是一款多功能的三維形貌儀，采用的白光共聚焦技術(shù)，可實現(xiàn)對材料表面從納米到毫米量級的粗糙度測試，具有測量精度高，速度快，重復(fù)性好的優(yōu)點，該儀器可用于測量大尺寸樣品，并具有多種選項，包含360°旋轉(zhuǎn)工作臺，原子力顯微鏡模塊，光學(xué)顯微鏡，特征區(qū)域定位等多種功能模塊。
Nanovea三維表面形貌輪廓儀ST400特性
采用白光共聚焦色差技術(shù)，可獲得納米級的分辨率
測量具有非破壞性，測量速度快，精確度高
測量范圍廣，可測透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學(xué)材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…)；
尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面
不受樣品反射率的影響
不受環(huán)境光的影響
測量簡單，樣品無需特殊處理
Z方向,測量范圍大：為27mm
主要技術(shù)參數(shù)
掃描范圍：150mm×150mm(大可選600mm*600mm)
掃描步長：0.1μm
掃描速度：20mm/s
Z方向測量范圍：27mm
方向測量分辨率：2nm
產(chǎn)品應(yīng)用
MEMS、半導(dǎo)體材料、太陽能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料，光學(xué)元件、陶瓷和*材料的研發(fā)。