| 產地類別 | 國產 | 電動機功率 | 2.2KWkW |
|---|---|---|---|
| 外形尺寸 | 860mm*850mm*700mmmm | 應用領域 | 電子/電池 |
| 重量 | 170kgkg |
| 半自動分析探針臺 | |||||
| 型號 | SHCV-6 | SHCV-8 | SHCV-12 | ||
| 外形 | 860mm*850mm*700mm | 880mm*860mm*750mm | 1300mm*920mm*920mm | ||
| 重量 | 約180KG | 約250KG | 約380KG | ||
| 電力需求 | AC220V,50~60HZ | ||||
| Chuck | 尺寸 | 6英寸 | 8英寸 | 12英寸 | |
| X-Y軸行程 | 6*6英寸 | 8*8英寸 | 12*12英寸 | ||
| X-Y軸移動解析度 | 0.1um | ||||
| X-Y軸重復定位精度 | ±1um | ||||
| 移動速度 | ≥ 50 mm/sec | ||||
| Z軸行程 | 10mm | ||||
| Z軸移動解析度 | 0.1um | ||||
| Z軸重復定位精度 | ±1um | ||||
| Theta角度行程 | ±10° | Theta角度解析度 | 0.0001° | ||
| 樣品固定方式 | 多孔真空吸附，獨立分區控制 | ||||
| 切換樣品功能 | 樣品臺快速拉出 | ||||
| 結構 | 同軸高壓設計，鍍金，電學獨立懸空，可作為背電極使用 | ||||
| 針座平臺 | 規格 | O型平臺，多可放置8個針座 | O型平臺，多可放置10個針座 | O型平臺，多可放置12個針座 | |
| 行程&調節方式 | 平臺可以快速升降，行程6mm并帶自動鎖定功能 | ||||
| 溫控特性 | 溫度范圍 | ﹣100~200℃ | ﹣80~200℃ | ﹣60~200℃ | |
| 溫控精度 | 溫度分辨率 ： 0.01°C | ||||
| 加熱電源 | LVDC 低壓直流 | ||||
| 低控溫速率 | ±0.1°C /小時 | ||||
| 傳感器 | Pt100 | ||||
| 制冷方式 | 液氮制冷或者壓縮機制冷 | ||||
| 軟件功能 | wafer map的編輯 | 光學特性 | 顯微鏡行程 | 2*2inch | |
| 儀器的接入 | 顯微鏡行程 | 1um | |||
| 數據的采集和圖像化顯示 | 放大倍數 | 20-4000X | |||
| 數據的分析 | CCD像素 | 50W（模擬）/200W（數字）/500W（數字） | |||
| 差異數據的標定Ink mark | 點針規格 | 點針精度 | 10微米/2微米/0.7微米 | ||
| 自定義Bin分 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm | |||
| 自動測試 | 漏電精度 | 10pA/100fA | |||
| 通訊接口：RS232/484TCP/IP/,GPIB等 | 接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸/SMA，SHV接口 | |||
| 大功率規格 | 配置 | 大功率kelvin樣品臺 | 減震 | 主動式減震系統，能夠實現50X 物鏡下畫面不抖動 | |
| 大功率夾具線纜 | 可選附件 | 射頻測試 | chuck快速拉出裝置 | ||
| mult-pin 分流探針 | 卡盤鍍金 | PCB板夾具 | |||
| 大功率保護模塊（針座用） | 激光修復 | 液晶熱點偵測套裝 | |||
| 保護紅外光幕，防止人員誤進入工作區，觸發時interlock互鎖 | 探針卡夾具 | 光強/波長測試接口部件 | |||
| 大功率儀器連接模塊 | 屏蔽箱 | 高低溫樣品臺（-80~200℃） | |||
| 大測試電壓 | 10KV | 加熱臺 | 顯微鏡傾仰裝置 | ||
| 大測試電流 | 500A（脈沖） | 應用方向 | 晶圓測試，功率器件半自動測試 | ||
| 特點： | |||||
| Si/SiC/GaN等晶圓測試 | 超高的測試精度和測試效率 | ||||
| 大功率晶圓測試 | 便捷的儀器接入 | ||||
| （-80~200℃）高低溫Chuck | 半自動測試 | ||||
| 20~4000X光學顯微放大 | 可升級全自動測試 | ||||
| 功能豐富的測試軟件 | 可升級射頻測試 | ||||
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