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有機材料熱蒸鍍設備

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北京瑞科中儀科技有限公司專注半導體材料研究分析設備的研發和應用。專業的團隊,專精的服務,提供理想的解決方案。

我們長期專注于半導體材料研究與分析設備的經銷和代理,為高校、企業科研工作者提供專業的分析解決方案。以專業技能為導向,用科技來解決用戶在科研中遇到的難題。專業的技術工程師和科研工作者進行現場演示和技術交流,打消顧慮,彼此協作,為我國的科研領域譜寫新篇章。

北京瑞科中儀科技有限公司長期代理銷售供應多種分子材料的研究分析設備,其中包括但不限于掃描電子顯微鏡、感應耦合等離子體化學氣相沉積系統、離子束刻蝕機、等離子清洗機、物理氣相沉積系統以及各品牌的光學顯微鏡以及實驗室設備儀器。

客戶至上的服務理念,以人為本的企業文化,我們始終為用戶提供專業的服務!

合作丨共贏,選擇我們,選擇未來!

 

半導體材料分析,材料刻蝕

應用領域 環保,化工,電子/電池

有機材料熱蒸鍍設備

有機金屬熱沉積系統是一種熱蒸發的方式,用於將有機或金屬材料沉積到基板表面上。該過程需要通過精確控制溫度和沉積速率來實現薄膜的高精度和均勻性。

為了達到此要求,有機材料熱沉積系統使用高精準熱蒸發源作為加熱源,並使用金屬、石英、陶瓷或PBN坩堝來容納有機材料以及PID控制器來控制其沉積速率。該系統通常用於有機電子研究領域,例如OPV、OLED、OPD... 

有機材料熱蒸鍍設備

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封裝系統

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SYSKEY針對研究等級的實驗室,推出玻璃對玻璃封裝的對位壓合機構。我們整合塗膠系統(UV或liquid gate)和紫外光燈可安裝於手套箱或是獨立的一個壓合腔體內,且可手動進行放片,也可以透過自動傳片系統使用。可撓式OLED必須輕薄且具有可撓曲性,因此過往的玻璃材料並不適合用於此類的封裝,必須採用薄膜封裝技術(Thin-Film Encapsulation,TFE)或混和封裝技術。SYSKEY針對薄膜封裝推出電漿輔助式化學氣相沉積、原子層沉積和聚對二甲苯沉積等三種設備,且使用低溫的沉積技術,分別在OLED 上堆疊多層薄膜(SiNX、SiOXNX、Al2O3、ZnO、Parylene)並得到更好的保護層,以減少水氧對於有機元件的影響,從而提高OLED面板的壽命和性能。

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應用領域腔體
  • 有機發光二極體

  • 有機光伏打電池

  • 材料科學研究

 

  • 由304不銹鋼所製成,通過外部焊接304不銹鋼管線對腔體進行水冷

  • 寬大的前開式門,並有兩個視窗和

    視窗遮版用於觀察基材和蒸發源

  • 一個熱蒸發腔體內,最多可容納

    12組熱蒸發源

  • 腔體的極限真空度約為10-8 Torr。

配置和優點選件
  • 客製化的基板尺寸,最大直徑為12寸晶圓或470 x 370 mm2(玻璃)

  • 優異的薄膜均勻度小於±3%

  • 用於有機材料的蒸發源(可用金屬、陶瓷、石墨或PBN坩堝)

  • 鍍率自動控制:最小值為0.01?/s

  • 蒸發源溫度控制可達到精度±0.1oC

  • 具有順序操作或共沉積的多個蒸發源

  • 用CCD對位將玻璃基板和遮罩的

    位置對準在±5μm以內

  • 每個蒸發源和基材均有安裝遮板。

  • 每個蒸發源和基板均裝有百葉窗。

  • 可以與傳送腔、機械手臂和手套箱整合在一起

  • 殘留氣體分析儀。

 




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