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UltraINSP 晶圓表面缺陷檢測(cè)系統(tǒng)
- 公司名稱(chēng) 岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠(chǎng)商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/12/18 13:38:33
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UltraINSP晶圓表面缺陷檢測(cè)系統(tǒng)是表面缺陷檢測(cè)的蕞完善的國(guó)產(chǎn)化替代產(chǎn)品,系統(tǒng)包括四個(gè)模塊可以檢測(cè)所有晶圓表面并同步采集數(shù)據(jù):晶圓正面、背面、邊緣缺陷檢測(cè)模塊;輪廓、量測(cè)和檢查模塊;其提供了自適應(yīng)數(shù)據(jù)采集控制,創(chuàng)新地利用測(cè)量評(píng)估結(jié)果匹配多傳感融合測(cè)量技術(shù)以保證檢測(cè)準(zhǔn)確與穩(wěn)定,系統(tǒng)可蕞大程度的替代進(jìn)口缺陷檢測(cè)設(shè)備,具有很高的經(jīng)濟(jì)效益。
目前可定制的缺陷類(lèi)型:
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邊緣缺陷檢測(cè):崩邊、缺角
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切割槽深度與寬度檢測(cè)
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切割缺角、豁口檢測(cè)
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切割槽多余材料堆積
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引線(xiàn)鍵合質(zhì)量檢測(cè)
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焊點(diǎn)質(zhì)量檢測(cè)
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