線列式 磁控濺射薄膜沉積系統
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
- 品牌 沈陽科儀
- 型號 線列式
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2025/6/5 18:02:04
- 訪問次數 406
產品標簽
聯系方式：謝澤雨19842703026 查看聯系方式
聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息，謝謝!
1.產品概述：
本沉積系統可用于制備光學薄膜、電學薄膜、磁性薄膜、硬質保護薄膜和裝飾薄膜等，工藝性能穩定、模塊化結構，采用行業的軟件控制系統。
2.設備用途：
用于納米單層及多層功能膜、硬質膜、金屬膜、半導體膜、介質膜等新型薄膜材料的制備。可廣泛應用于大院校、科研院所的薄膜材料的科研項目。例如可用于制備各種功能性薄膜，如具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的薄膜；適用于微電子域；在光學域，可用于制備增透膜、低輻射玻璃和透明導電玻璃等；在機械加工行業中，可沉積表面功能膜、超硬膜、自潤滑薄膜等，以提高表面硬度、復合韌性、耐磨損性和抗高溫化學穩定性能；還可應用于高溫超導薄膜、鐵電體薄膜、巨磁阻薄膜、薄膜發光材料、太陽能電池、記憶合金薄膜等的研究。
3.真空室：
真空室結構:長方形側開門
真空室結構:長方形側開門
真空室尺寸:1100X700X350mm
限真空度:≤6.0E-5Pa
沉積源:磁控靶尺寸：450X80mm、向上濺射，每個真空室配2個靶位
樣品尺寸，溫度:300X400mm；高溫度300度
占地面積（長x寬x高）:約6米×3米×2米（設計待定）
電控描述:全自動工藝:設計待定
采購中心
化工儀器網