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3D光學輪廓儀MTMI100

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江蘇集萃中科旨在光學組件、光學儀器、智能光電感知三大方向,開展系列關鍵技術攻關與產業化實踐,目前已形成3D光學輪廓儀、白光干涉儀、反射膜厚儀、光致發光、無損檢測儀、光譜橢偏儀等標準化產品。公司服務涵蓋光學儀器的研發、生產及制造一站式服務,同時為客戶提供基于智能光電感知的智慧工廠整體解決方案。




白光干涉儀、光學輪廓儀、粗糙度儀、光學膜厚儀、光譜橢偏儀等光學產品。

產地類別 國產 產品種類 接觸式輪廓儀/粗糙度儀
價格區間 面議 應用領域 綜合

產品描述

對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況等表面形貌特征進行測量和分析。廣泛應用于光學制造、材料科學、機械制造和電子工業等領域,為用戶提供準確的表面形貌測量解決方案。


3D光學輪廓儀MTMI100功能:

高精度微觀表面測量

提供高分辨率的表面形貌測量,精度達到亞微米級,適用于精密 加工領域。

無接觸式測量

采用非接觸式測量技術,避免了因接觸式測量可能產生的表面損傷或應力,適用于脆弱材料。

快速測量與數據處理

提供高速度的數據采集和處理,能夠在短時間內獲取大量表面信息,提高生產效率。

大面積掃描能力

支持大面積拼接掃描,適用于需要大范圍表面分析的工業應用。

高度可定制化

提供靈活的軟件配置和硬件選項,能夠根據客戶的具體需求進行定制。

多種分析模式

提供豐富的表面分析功能,如輪廓分析、粗糙度分析等,滿足不同應用需求。


3D光學輪廓儀MTMI100特點

1.通過工作原理圖展示白光干涉儀如何利用光干涉技術進行高精度測量,闡述其無接觸、非破壞性特點。

2.展示用戶友好的軟件界面,突出其易操作、自動化處理和數據可視化的特點。

3.顯示儀器的實際應用,例如在半導體、精密制造等領域中的應用案例,突出其應用的廣泛性。

4.展示儀器測量后生成的各種分析結果,如表面粗糙度、形貌輪廓圖等,通過圖表和數據展示其分析功能和數據的直觀性。


三視圖

  • 3D光學輪廓儀MTMI100

    正視圖

  • 3D光學輪廓儀MTMI100

    側視圖

  • 3D光學輪廓儀MTMI100

    后視圖

  • 3D光學輪廓儀MTMI100

    正視圖

  • 3D光學輪廓儀MTMI100

    側視圖

  • 3D光學輪廓儀MTMI100

    后視圖


技術參數

掃描范圍

15mm


掃描速度

10μm/s


干涉物鏡

標配:10x 選配:2.5x、5x、20x、50x、100x


轉塔

手動


標準視場

1mm×1mm(10×物鏡+0.5×成像模組)


XY位移臺

尺寸

300*300mm

移動范圍

100*100mm

負載

10kg

控制方式

電動/手動

調節角度

±5°

Z軸聚焦

聚焦方式

自動/手動

行程

30mm

控制方式

電動

粗糙度 RMS 重復性*

0.005nm


臺階測量重復性

0.1%(1σ)


檢測案例:

  • 3D光學輪廓儀MTMI100

    16線光柵檢測


  • 3D光學輪廓儀MTMI100

    90nm臺階塊檢測


  • 3D光學輪廓儀MTMI100

    硅片檢測


  • 3D光學輪廓儀MTMI100

    鏡片檢測



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