光學散射表面缺陷檢測儀器W8P1描述：

光學散射表面缺陷檢測儀器具備明場、暗場以及缺陷自動分類檢測技術。采用藍光高亮光源與635nm高功率激光光源，結合高分辨率物鏡成像與光電倍增管非成像探測，針對表面裂紋、麻點、破邊、顆粒、水潰等缺陷表現較好。專注于光滑表面樣品缺陷檢測，可以應用于半導體元件（ sI / GaN / SIC 等）與其他光學元件（光學鏡片／玻璃等）等領域。

光學散射表面缺陷檢測儀器W8P1功能：

高度定制化服務

可定制照明光源、可定制鏡頭倍率、模塊化設計、開放式接口、自定義工作流程和業務參數

同時測量

同時支持樣品高透與高反區域測量

光學分辨率

優于1μm，較高可達 0.5 μm

檢測靈敏度

優于70nm

多角度

自定義多角度檢測

極低漏檢率

光電倍增管檢測整體均勻性特征結合 CMOS 檢測局部缺陷特征，極大降低漏檢率

智能化篩選

智能化篩選較優無缺陷區域

超高安全性

軟件集成度高、靈活性強、提供管理員和操作員模式，確保系統安全性

產品特點：

工作原理  基于散射顯微成像檢測原理