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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>干法工藝設備>干法清洗設備> Gas Mixers氣體混配器

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Gas Mixers氣體混配器

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訂貨量 ≥1
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FIRSTNANO成立于2012年,一家由三位材料學博士共同創辦的德國公司。基于 Science is international”的想法,“全球協同實驗室”成為三位博士追逐的夢想。

公司愿景是從科學家到科學家,科學開創美好未來。

FIRSTNANO深耕于半導體技術、材料科學、生命科學等科研領域,始終秉承“前沿、專業、科學”的宗旨,將前沿技術引進到協同實驗室。我們的產品覆蓋了微納加工制程;材料科學的檢測、分析;生命科學成像,腦科學與行為認知等相關領域。作為全球科技前沿的儀器供應商,FIRSTNANO具有全球技術視野、優質供應體系、以及嚴格的質量管控系統,能為客戶提供前沿的技術解決方案。

公司服務的客戶領域廣泛,其中包括消費電子、航空、航天、醫藥技術、半導體行業、光電子行業、高校和研究機構。

在成長的過程中,我們腳踏實地、奮勇向前。自2015年香港(中華區)公司成立以來,我們一相繼在香港、深圳、上海和武漢設立了分支機構。

我們真誠邀請業內英才加入FIRSTNANO TEAM,一起為夢想揚帆起航!

 

 

 

 

 

半導體儀器和電子產品耗材耗材

Gas Mixers氣體混配器用于 SEMI-KLEEN 和 EM-KLEEN 系列遠程等離子源的氣體混配器

Gas Mixers氣體混配器

關于Gas Mixers氣體混配器

SEMI-KLEEN 或 EM-KLEEN 系列遠程等離子源只能接受一個氣體輸入。對于某些研究項目,用戶可能需要為 SEMI-KLEEN 或 EM-KLEEN 遠程等離子體源混合多種工藝氣體。此處列出的三端口氣體混配器集成了多達三個質量流量受控氣體輸入端口、一個排氣/旁路泵端口和一個混合氣體輸出端口。氣體輸出端口應連接到 SEMI-KLEEN 或 EM-KLEEN 遠程等離子清洗機上的氣體輸入端口。如果需要高純度氣體輸送,排氣/旁通泵出口提供高電導泵送途徑,以排空氣體管。

Gas Mixers氣體混配器

特征:

  • 觸摸屏用戶界面

  • 多達 3 個質量流量受控的氣體輸入端口

  • 用于通風室和高速抽氣管的排氣/旁路端口。

  • 不同氣體種類的流速補償

  • 集成計時器

  • 110~230V 通用交流電源輸入。




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