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定制運(yùn)動(dòng)臺(tái)是XYZT4軸一體式精密定位平臺(tái)，XYZ采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，選
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晶圓檢測(cè)運(yùn)動(dòng)臺(tái)是XYZT4軸一體式精密定位平臺(tái)，XYZ采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)
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CFTCA系列機(jī)械直線臺(tái)是納米級(jí)定位精度的XY一體式精密定位平臺(tái)，直
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HRMS系列機(jī)械轉(zhuǎn)臺(tái)是高精度的360度連續(xù)轉(zhuǎn)臺(tái)，采用直驅(qū)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，選
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YZX130系列氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)
YZX130系列氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)是高精度側(cè)向安裝直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái)，旋轉(zhuǎn)軸采用自研
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位移臺(tái)是Z/Theta兩軸一體式精密定位平臺(tái)，Z軸利用雙直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，
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中空平臺(tái)是地心科技高精度和高動(dòng)態(tài)性能平面氣浮平臺(tái)，它是XY雙氣浮
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光耦合運(yùn)動(dòng)臺(tái)是XYZT4軸一體式精密定位平臺(tái)，XYZ采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，
技術(shù)文章
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