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定制運動臺是XYZT4軸一體式精密定位平臺,XYZ采用直線電機(jī)驅(qū)動,選
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晶圓檢測運動臺是XYZT4軸一體式精密定位平臺,XYZ采用直線電機(jī)驅(qū)動
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CFTCA系列機(jī)械直線臺是納米級定位精度的XY一體式精密定位平臺,直
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HRMS系列機(jī)械轉(zhuǎn)臺是高精度的360度連續(xù)轉(zhuǎn)臺,采用直驅(qū)電機(jī)驅(qū)動,選
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YZX130系列氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺是高精度側(cè)向安裝直驅(qū)轉(zhuǎn)臺,旋轉(zhuǎn)軸采用自研
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位移臺是Z/Theta兩軸一體式精密定位平臺,Z軸利用雙直線電機(jī)驅(qū)動,
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中空平臺是地心科技高精度和高動態(tài)性能平面氣浮平臺,它是XY雙氣浮
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光耦合運動臺是XYZT4軸一體式精密定位平臺,XYZ采用直線電機(jī)驅(qū)動,
