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薄膜生長設備

• 原子層沉積設備
• 化學氣相沉積設備
• 外延系統(tǒng)
• 物理氣相沉積設備
• 其它薄膜沉積設備

工藝測量和檢測設備

• 四探針測試儀
• 薄膜應力測試儀
• 晶圓缺陷光學檢測設備
• 光刻套刻測量設備
• 晶圓缺陷電子束檢測設備
• 光學薄膜測量設備
• 關(guān)鍵尺寸測量設備
• 熱波系統(tǒng)
• 其它晶圓缺陷檢測設備

集成電路測試與分選設備

• 芯片分選機
• 信號測試系統(tǒng)/半導體測試機
• 探針臺
• 探針卡

光刻及涂膠顯影設備

• 無掩模光刻機/直寫光刻機
• 勻膠機
• 電子束曝光機
• 涂膠顯影設備
• 有掩模光刻機
• 納米壓印設備
• 去膠機

熱工藝設備/熱處理設備

• 退火爐
• 氧化擴散設備

硅片制備/晶體生長設備

• 單晶爐
• 晶圓切片機
• 倒角機
• 磨片機
• 滾磨機
• 晶圓研磨機

掩模版和中間掩模版制造設備

• 掩模檢查設備
• 掩模修補系統(tǒng)
• 掩模制造設備
• 分步重復系統(tǒng)/精縮機
• 掩模光刻膠處理及清洗設備
• 掩模版保護膜安裝儀器
• 掩模復印機/翻版機

離子注入設備

• 離子注入機

干法工藝設備

• 等離子體刻蝕設備
• 干法清洗設備

濕法工藝設備

• 化學機械拋光機(CMP)
• 濕法清洗設備
• 無應力拋光機
• 濕法腐蝕/刻蝕設備
• 電鍍設備
• 其它濕法工藝設備

組裝與封裝設備

• 劃片機
• 芯片開封機
• AOI光學自動檢測設備
• 打標機
• 塑封機
• 顆粒度檢測儀
• 倒裝機
• 銀漿固化設備
• 鍵合機
• 紅外對準儀
• 切筋成型設備
• 植球機
• 焊線機
• 減薄機
• 貼片機/粘片機
• MEMS圓片自動測試系統(tǒng)
• 絲網(wǎng)印刷機

其它半導體行業(yè)儀器設備

• ECV設備
• 少子壽命測試儀
• 分子束外延(MBE)
• 半導體行業(yè)專用軟件
• 其它半導體設備