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簡單介紹：UV-KUB 3 是一種基于掩膜對準系統的 UV-LED，具有 365nm 的可用光源。這是一個非常緊湊的桌面系統，兼容 4 英寸晶圓和 100x100 mm² 工作表面。由于特定的光學裝置可提供最大發散角小于 2° 的準直光束，因此可實現的最小特征尺寸為 2 µm。

簡單介紹：我們在Dilase 直接激光寫入光刻技術方面擁有豐富的經驗，因此推出了用于固化紫外光感光材料的 UV-KUB 系統。 UV-KUB 2 是一種基于 UV LED 的曝光和掩膜系統，具有 365nm 的可用光源。這是一款緊湊型的桌面系統，能夠曝光最大直徑為 4“ 或 6“ 的晶圓。