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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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| 參考價 | 面議 |
更新時間：2025-07-01 09:11:17瀏覽次數：5407
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| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 化工,能源,電子/電池,包裝/造紙/印刷 |
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當氣體暴露在電子區域時可以形成等離子體。如果該區域氣流足夠強，高比例的氣體原子將服從電子或兩個成為已電離的。由此產生的電離氣體和釋放的高能電子組成的氣體等離子或離子。已電離的氣體原子的動能相對較小，除非他們通過電場加速。加速時，他們會釋放足夠的力量與表面驅逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。等離子體效應的過程轉換成材料的蝕刻工藝。活性氣體在分子級上的使用也產生化學反應。
氣體等離子體類型：各向異性等離子體是有方向性的，由電氣控制一些具體的高能離子，或某個范圍的能量（見美國鋁框系統）。
各向同性等離子體是多方位和包含整個的3 – D等離子的設備（見美國石英筒備系統）。
氣體等離子體處理了超過濕化學處理幾個優點。液體的表面張力的現象消除，正如泡沫的形成，這可能會導致不*濕化。等離子蝕刻可以迅速結束，終止進程，而液體蝕刻工藝很難準確的結束。
“綠色”的優勢：無氟氯化碳和污水，操作和環境安全。排除有毒和腐蝕性的液體。等離子處理的主要缺點是較低的吞吐量。
我們致力于氣體等離子處理，即讓氣體在常溫下，無熱相變下改變。這些氣體可以是惰性的，也可以是起反應的。在反應性氣體的情況下，利用動量轉移處理以及氣體反應的化學性質改變材料的特性。
鋁質腔體等離子系統Aluminum Chamber Plasma Systems
SCE 14鋁質腔體等離子系統
長寬高356毫米的立方體腔體
外形尺寸559毫米 x 686毫米 x 915毫米 (w,d,h)
SCE 18鋁質腔體等離子系統
長寬高457毫米的立方體腔體
外形尺寸 711毫米x 711毫米x 1651毫米(w,d,h)
SCE 24鋁質腔體等離子系統
長寬高610毫米的立方體腔體
外形尺寸 864毫米 x 813毫米 x 1829毫米 (w,d,h)
SCE30鋁質腔體等離子系統
長寬高762毫米的立方體腔體
外形尺寸915毫米x 915毫米x 1829毫米(w,d,h)
石英滾筒等離子系統Quartz Barrel Plasma Systems
4" diameter x 8" long
102毫米直徑 x 203毫米長腔體
外形尺寸26" H x 23" W x 30" D 660毫米 H x 584毫米 W x 762毫米 D
SCE 106石英滾筒等離子處理系統
6" diameter x 8"long
152毫米直徑x 203毫米長腔體
外形尺寸 26" H x 23" W x 30" D 660毫米 H x 584毫米 W x 762毫米 D
SCE108石英滾筒等離子處理系統
8" diameter x 8"long 腔體
203毫米直徑x203毫米長
外形尺寸 26"H x 23"W x 30"D 660毫米 H x 584毫米 W x 762毫米 D
SCE110石英滾筒等離子處理系統
10" dia x 18" L long
254毫米直徑x 457毫米長腔體
外形尺寸36"H x 21"W x 30"D 914毫米Hx533毫米W x 762毫米 D
SCE 115石英滾筒等離子處理系統
10" dia x 18" L long
254毫米直徑x 457毫米長腔體
外形尺寸22" W x 36" H x 27" D 559毫米x914毫米H x 686毫米 D
SCE150石英滾筒等離子處理系統
10" dia x 18"L 2 4毫米直徑x 457毫米長腔體
SCE 604石英滾筒等離子處理系統
Four (4) chambers 4" x 8" diameter Quartz
4個腔體102毫米x203毫米直徑石英腔體
玻璃等離子系統Tumbler Plasma Systems
SCE 10等離子處理系統
SCE 18等離子處理系統
Aluminum Basket (457毫米 x 1016毫米)
控制系統Control System
• PLC - "Touch-Panel" operation
PLC 觸摸面板操作
• Digital count down timer (hrs, min, sec)
數字倒計時定時器（小時，分，秒）
• Digital On-Screen vacuum display
數碼屏幕真空顯示器
• Gas flow with needle valve control
氣體流量針形閥控制
• Manual tuning standard
手動校準標準
• Optional: Automatic RF tuning for load match
• 可選的：自動射頻調整與負載匹配
反應腔體Reactor Chamber
• 4" diameter x 8" long quartz chamber
• 4英寸直徑x8英寸長的石英艙體
• RF shielded
• 射頻屏蔽
• Front load
• 前負荷
尺寸：Dimensions
• 26" H x 23" W x 30" D
• 26英寸（H）x23英寸（W）x30英寸（D）
• 275 lbs Crated weight
• 275磅包裝重量。
射頻功率源RF Power Source
• 0-150 Watt RF 13.56 MHz supply
• 0-150 W射頻13.56兆赫茲供應
• Forward and reflected power readings
• 正向和反射功率讀數
• Low frequency optional
• 低頻選項
