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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營產(chǎn)品： 美國Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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| 參考價(jià) | ￥ 120000 |
| 訂貨量 | 1臺 |
更新時(shí)間：2025-07-02 11:33:17瀏覽次數(shù)：3968
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 石油,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
|---|---|---|---|
| 真空度 | ≤100Pa | 電源功率 | 0-300W可調(diào) |
| 氣體路數(shù) | 2路 | 射頻頻率 | 13.56MHz |
臺式等離子清洗機(jī)是一款專門針對科研院所研制的小批量樣品表面處理設(shè)備，利用真空環(huán)境產(chǎn)生等離子體去處理樣品的表面，達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。具有設(shè)備小巧，真空腔容量大，適用于實(shí)驗(yàn)室環(huán)境；清洗過程不會產(chǎn)生高溫，避免產(chǎn)品產(chǎn)生熱變形；可以處理各種各樣的材質(zhì)，如金屬、半導(dǎo)體、氧化物或高分子材料，應(yīng)用廣泛。
臺式等離子清洗機(jī)特點(diǎn)：
u 采用射頻電源、自動匹配器，一鍵式操控
u 低溫等離子體，能量低、密度高，適合處理特殊材料
u 無環(huán)境污染、無化學(xué)品消耗
u 可處理形狀復(fù)雜的材料，材料表面處理的均勻性好
u 適用性廣，各種材料、形狀都可以處理
設(shè)備的優(yōu)點(diǎn)：
1、采用射頻電源、自動匹配器，一鍵式操控。
2、低溫等離子體，能量低、密度高，適合處理特殊材料。
3、無環(huán)境污染、無化學(xué)品消耗。
4、可處理形狀復(fù)雜的材料，材料表面處理的均勻性好。
5、適用性廣，各種材料、形狀都可以處理。
腔體材質(zhì) 鋁合金
電源功率 0-300W可調(diào)
射頻頻率 13.56MHz
真空度 ≤100Pa
氣體路數(shù) 2路
氣體流量 MFC氣體質(zhì)量流量計(jì) 500SCCM（可調(diào)）
控制 觸屏
清洗時(shí)間 1-6000s連續(xù)可調(diào)
處理尺寸：≤4寸
內(nèi)腔尺寸 Φ147mm*145mm（直徑*深）
外形尺寸 500mm*525mm*365mm（寬*深*高）
重量 ≈38KG
真空泵 愛特VRD-4
