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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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更新時(shí)間：2025-07-02 11:51:43瀏覽次數(shù)：923
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德國(guó)osiris去邊機(jī)：EBR，對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行去邊處理，去除晶圓邊緣的不良部分，去除氧化層、清潔表面等，以提高晶圓的質(zhì)量和加工性能。
一般應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)，對(duì)晶圓進(jìn)行邊緣去除處理，確保晶圓邊緣的平整和清潔，以提高晶圓的加工質(zhì)量和精度。或者是光伏產(chǎn)業(yè)，對(duì)硅片進(jìn)行邊緣去除處理，確保硅片的表面質(zhì)量，提高太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率。
除了半導(dǎo)體和光伏產(chǎn)業(yè)，EBR去邊機(jī)還在其他領(lǐng)域有應(yīng)用，如集成電路封裝、傳感器制造、醫(yī)療器械等領(lǐng)域，用于對(duì)各種基板和器件進(jìn)行邊緣處理。
smartEBR 用于清潔扁平或缺口晶圓的邊緣。
UNIXX EBR A20
（200x200mm） 獨(dú)立的smartEBR系統(tǒng)。（單底座）
