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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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50mm
請(qǐng)見下表生產(chǎn)級(jí)與測(cè)試級(jí)晶圓片標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格。我們將竭誠(chéng)提供符合您所有需要的晶圓片。
直徑 | 50 +/- 0.5 毫米 |
種類 / 摻雜物 | P/Boron |
晶向 | < 100 > +/- 1º |
等級(jí) | 測(cè)試級(jí) |
電阻值 | 1 – 100 Ω-cm |
鏡像電阻梯度 | — |
氧 | — |
碳 | — |
金屬 | < 5 x E10 原子/ 平方厘米 |
厚度 | 279 +/-50微米 |
厚度變化 | <= 10微米 |
整體平整度 | |
彎曲度 | <= 50微米 |
平整度 | 1或2 SEMI標(biāo)準(zhǔn)值 |
顆粒數(shù) | <= 20 @ >= 0.3微米 |
拋光 | 單面拋光或雙面拋光 |
蝕刻 | 單面拋光或雙面拋光 |
