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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
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聯(lián)系電話
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邁可諾技術(shù)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 美國(guó)Laurell勻膠機(jī),WS1000濕法刻蝕機(jī),Cargille光學(xué)凝膠,EDC-650顯影機(jī),NOVASCAN紫外臭氧清洗機(jī) |
聯(lián)系電話
磨削頭
• Z軸運(yùn)動(dòng)，可調(diào)節(jié)角度
•可調(diào)節(jié)劃線力從10gr到250gr，恒重
•金剛石工具：可調(diào)節(jié)角度和旋轉(zhuǎn)
•刀具偏置，十字準(zhǔn)線
•精度：±5μm
晶圓
•晶圓片直徑6''
•真空吸附
•框架/環(huán)形適配器
•電動(dòng)夾頭旋轉(zhuǎn)
•夾頭旋轉(zhuǎn)對(duì)準(zhǔn)，90度/可編程
•X Y軸/分辨率1μm; 精度±5μm
•無(wú)振動(dòng)設(shè)計(jì)
•通過(guò)漸進(jìn)式操縱桿控制運(yùn)動(dòng)
視覺(jué)系統(tǒng)
•光學(xué)放大倍率，與其他應(yīng)用兼容
•視野：標(biāo)準(zhǔn)1mm
•TFT顯示器17''和CCD彩色高清攝像機(jī)
•目標(biāo)發(fā)生器
•LED照明
參數(shù)
•步驟指數(shù)
•Y劃線速度從1到100毫米/秒
•劃線長(zhǎng)度可編程
•重復(fù)劃線
•劃線數(shù)量
•多指數(shù)功能
•削減計(jì)數(shù)器
技術(shù)規(guī)格
功率：100 / 230VAC ，500 watt
氣壓：70psi
真空：60％
尺寸：650x700x500mm（26''x28''x20''）
重量：70kgr。
