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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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Futurrex產品優勢：
1、Futurrex光刻膠黏附性好，無需使用增粘劑（HMDS）
2、負性光刻膠常溫下可保存3年
3、150度烘烤，縮短了烘烤時間
4、單次旋涂能夠達到100um膜厚
5、顯影速率快，100微米的膜厚，僅需6~8分鐘
負性光刻膠
A、 粘性增強負膠（NR9-P、NR9G-P、NR5系列）
特性
在蝕刻和電鍍應用時具有*的粘附力，且很容易去除
厚度范圍：<0.1-120μm
i、g以及h線曝光
優勢：
具有一次旋涂即可獲得100μm以上*的分辨率的甩膠厚度
150℃軟烘烤的應用可縮短烘烤時間
更快的顯影，100μm的光刻膠顯影僅需6-8分鐘
不必使用增粘劑如HMDS
B、 高級加工負膠（NR71-P、NR71G-P系列）
特性：
在RIE處理是優異的選擇性以及在離子注入時優異的耐高溫性能
厚度范圍：<0.1-120μm
i、g以及h線曝光
優勢：
具有一次旋涂即可獲得100μm以上*的分辨率的甩膠厚度
150℃軟烘烤的應用可縮短烘烤時間
更快的顯影，100μm的光刻膠顯影僅需6-8分鐘
可耐受180℃的高溫
不必使用增粘劑如HMDS
