 |
邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
12
聯系電話
|
邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
聯系電話
Futurrex產品優勢：
1、Futurrex光刻膠黏附性好，無需使用增粘劑（HMDS）
2、負性光刻膠常溫下可保存3年
3、150度烘烤，縮短了烘烤時間
4、單次旋涂能夠達到100um膜厚
5、顯影速率快，100微米的膜厚，僅需6~8分鐘
正性光刻膠
A、 粘度增強正膠（PR1系列）
應用：蝕刻、反應離子刻蝕、離子注入、電鍍；
特征：PR1系列正膠耐熱溫度=110℃；
品牌 | 產地 | 型號 | 厚度 | 耐熱溫度 | 應用 |
Futurrex | 美國 | PR1-500A | 0.4μm～0.9μm | 耐熱溫度=110 ℃ | 濕刻、反應離子束刻蝕、離子植入、電鍍 |
PR1-1000A | 0.7μm～2.0μm | ||||
PR1-1500A | 1.3μm～3.0μm | ||||
PR1-2000A | 1.7μm~4.0μm | ||||
PR1-4000A | 3.7μm~10.0μm | ||||
PR1-12000A | 10.0μm~25.0μm | ||||
Micro Resist | 德國 | ma-P 1200系列 | 0.5～50μm膠厚 | 非常適合作為刻蝕掩模，*的抗干刻、濕刻性能； 光刻膠圖案良好的熱穩定性；堿性水溶液下顯影； | |
