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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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濕法顯影掩膜版清洗系統
手動型SCS112
SCS112型是一款高效率手動型的系統，專門設計用于在劃片或劃片后清洗晶片?？赏ㄟ^施加高壓DI水射流或霧化噴嘴來清潔安裝在環（抓環）或膠片框架上的晶圓，然后使用高轉速，氮氣輔助或紅外加熱燈進行快速干燥。該系統大可處理8英寸晶圓。
功能：
選項：
產品參數：
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手動型SCSe124
SCSe124型是用于光掩模，晶圓和基材的亞微米級清潔的理想解決方案。該系統非常可靠且具有成本效益，它經過驗證，擁有各種清潔技術。SCSe124可以配置幾種不同的清潔選項，包括高壓DI水，霧狀噴嘴，刷子，Megasonic噴嘴等等?？焖儆行У母稍锛夹g是結合了可變轉速和可選項加熱DI水，氮氣輔助或加熱燈。SCSe124具有微處理控制器，該控制器可調整過程參數，并儲存多達10個程序。
功能：
產品參數：
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手動型SCSe126
SCSe126型是用于光掩模，晶圓和基材的亞微米級清潔的理想解決方案。該系統非?？煽壳揖哂谐杀拘б?，它經過驗證，擁有各種清潔技術。SCSe126可以配置幾種不同的清潔選項，包括高壓DI水，霧狀噴嘴，刷子，Megasonic噴嘴等等。快速有效的干燥技術是結合了可變轉速和可選項加熱DI水，氮氣輔助或加熱燈。SCSe126具有微處理控制器，該控制器可調整過程參數，并儲存多達10個程序。
功能：
• 徑向排氣腔，可實現大層流。
• 獨立式聚丙烯腔室。
• 微處理器可控制10個程序段。
• 內置安全聯鎖。
• 按鈕蓋啟動 打開/關閉。
• 觸摸屏圖形用戶界面（GUI），易于編程和安全鎖定以及屏幕錯誤報告。
• 多可使用4個機械臂。
?產品參數：
