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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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光刻機分為半自動和全自動兩大系列。MEMA-800是研發中心和大學中的微機開發。操縱器，壓力傳感器，加速度傳感器，功率設備等。倒裝芯片/BGA/CSP的暴露。暴露于光學/高速通信組件中。
二、技術參數：
1、目標分離：15?75毫米；
2、總放大倍率：100倍；
3、觀察照明器：紅色LED（λ= 633 nm）；
4、X，Y平臺移動范圍：±5毫米；
5、θ調整：±5°
6、主體電源和水銀燈：交流100V 50 / 60Hz 15A
7、真空源：低于21.3 Kpa（大氣壓為-80 Kpa）
8、鏡片：積分鏡
9、汞燈：250W超高壓蒸汽汞燈
10、有效接觸面積：大φ100毫米
11、強度分布：±5％以下
12、照度：20 mW / cm 2 （405納米）
13、曝光時間控制：數字計時器和旋轉螺線管
14、汞燈照明裝置：交流110V
三、產品特點：
經濟，緊湊和高級性能
在視場中查看兩個對準標記的融合圖像。
用于曝光的積分鏡。
LED照明器
