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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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POLOS SPIN300x
我們全新改進設計的POLOS® SPIN300x勻膠機型號現已開放訂購。該型號提供精準且可重復的工藝控制，主體材質采用天然聚丙烯（NPP），或可選耐化學腐蝕的**聚四氟乙烯（PTFE）**版本。
德國進口 POLOS勻膠機 SPS旋涂儀SPIN基于市場驗證的經典型號升級開發，提供標準版與進階版兩種配置，可兼容處理：
①直徑最大300 mm的圓形基板
②200×200 mm的方形樣品
專為半導體、光伏、MEMS及納米材料領域設計，適用于多種基材的涂覆加工，性能可靠，適配嚴苛工藝要求。
品牌 | Polo |
型號 | SPIN300x |
樣品尺寸 | 晶圓：最大直徑 12" (300 mm) 方片：最大8"x8"（200mm） |
最高轉速 | 12000rpm |
加速度 | 1~30000rpm |
旋轉方向 | 可正反轉 |
一．創新設計亮點
優秀的結構設計
特殊外殼與排水系統設計，支持桌面式與嵌入式安裝模式自由切換。模塊化結構允許用戶通過多樣化配件升級設備，優化點膠操作與整體流程便捷性。
二．電機歸位位置自定義
全新SPINx系列支持設定電機歸位位置，便于無縫集成至機器人控制/自動化產線環境。
三．便捷腔體訪問
真空吸盤高于勻膠碗邊緣，確保機械手末端執行器、鑷子或真空吸筆可直接觸達晶圓/基板，滿足機器人操作的特殊需求。
四．自動開蓋系統
可通過用戶界面或腳踏開關（適配手套箱環境操作）實現蓋體自動開閉
支持在工藝配方結束時自動觸發開蓋動作
五．液體過濾保護裝置
德國進口 POLOS勻膠機 SPS旋涂儀SPIN系列配備液體過濾器，有效保護勻膠機核心組件（驅動單元、真空閥、真空傳感器及伺服控制器）。該裝置可攔截通過工藝腔或真空吸盤進入管路的液體，所有光刻膠或流體將被安全收集至透明觀察瓶內（通過設備外殼視窗可實時監測）。維護建議：定期檢查收集瓶并按需清理殘留液體。
六．適用工藝范圍
涂覆（Coating）
清洗（Cleaning）
沖洗/干燥（Rinse/Dry）
顯影（Developing）
蝕刻（Etching）
PDMI及其他特殊工藝
SPIN200x硬件規格
類別 | 參數細節 |
工藝腔材質 | 天然聚丙烯（NPP）或聚四氟乙烯（PTFE，僅限Advanced版可選） |
最大基板尺寸 | 12英寸（300毫米）晶圓 或 8×8英寸（200毫米）方形基板 |
核心功能 | 液體過濾裝置、自動開蓋系統（進階版含腳踏控制）、可編程電機歸位位置 |
點膠系統 | 中央注射器/點膠嘴適配接口 |
安全設計 | 蓋體鎖定裝置、真空傳感器 |
人機交互 | 大尺寸可拆卸觸摸屏、USB接口（配方存儲與軟件升級） |
驅動單元技術參數
1.驅動類型：間接無刷電機，最高轉速12,000 RPM
2.控制精度：高加速性能，轉速范圍1 - 30,000 RPM（需確認實際可達性）
3.旋轉模式：順時針/逆時針旋轉及靜態浸潤（Puddle Mode）
4.安裝兼容性：支持桌面式與嵌入式模式切換
版本區別
