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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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我們致力于氣體等離子處理，即讓氣體在常溫下，無熱相變下改變。這些氣體可以是惰性的，也可以是起反應的。在反應性氣體的情況下，利用動量轉移處理以及氣體反應的化學性質改變材料的特性。
石英圓柱體等離子系統Quartz Barrel Plasma Systems
SCE104等離子去膠機
4" diameter x 8" long
102毫米直徑 x 203毫米長腔體
外形尺寸26" H x 23" W x 30" D 660毫米 H x 584毫米 W x 762毫米 D
SCE 106等離子去膠機
6" diameter x 8"long
152毫米直徑x 203毫米長腔體
外形尺寸 26" H x 23" W x 30" D 660毫米 H x 584毫米 W x 762毫米 D
SCE108等離子去膠機
8" diameter x 8"long
203毫米直徑x203毫米長腔體
外形尺寸 26"H x 23"W x 30"D 660毫米 H x 584毫米 W x 762毫米 D
SCE110等離子去膠機
10" dia x 18" L long
254毫米直徑x 457毫米長腔體
外形尺寸36"H x 21"W x 30"D 914毫米Hx533毫米W x 762毫米 D
SCE 115等離子去膠機
15" dia x 18" L long
381毫米直徑x 457毫米長腔體
外形尺寸22" W x 36" H x 27" D 559毫米x914毫米H x 686毫米 D
SCE150等離子去膠機
10" dia x 18"L 2 4毫米直徑x 457毫米長腔體
SCE 604等離子去膠機
Four (4) chambers 4" x 8" diameter Quartz
4個腔體102毫米x203毫米直徑石英腔體
控制系統Control System
• PLC - "Touch-Panel" operation
PLC觸摸面板操作
• Digital count down timer (hrs, min, sec)
數字倒計時定時器（小時，分，秒）
• Digital On-Screen vacuum display
數碼屏幕真空顯示器
• Gas flow with needle valve control
氣體流量針形閥控制
• Manual tuning standard
手動校準標準
• Optional: Automatic RF tuning for load match
• 可選的：自動射頻調整與負載匹配
反應腔體Reactor Chamber
• 4" diameter x 8" long quartz chamber
• 4英寸直徑x8英寸長的石英艙體
• RF shielded
• 射頻屏蔽
• Front load
• 前負荷
尺寸Dimensions
• 26" H x 23" W x 30" D
• 26英寸（H）x23英寸（W）x30英寸（D）
• 275 lbs Crated weight
• 275磅包裝重量。
射頻功率源RF Power Source
• 0-150 Watt RF 13.56 MHz supply
• 0-150 W射頻13.56兆赫茲供應
• Forward and reflected power readings
• 正向和反射功率讀數
• Low frequency optional
• 低頻選項
真空系統Vacuum System
• 3.8 CFM Standard service pump
• 3.8 CFM 標準的服務泵
• 1 Phase 50/60 120/208 VAC
• 1 相 50/60 120/208 VAC
• Package with all interconnecting hardware
• 包裝包含所有相關硬件
• 選項Optional
• Oxygen service. Class "B" Preparation
• 氧氣服務，B類備選
