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邁可諾技術有限公司
主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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主營產品： 美國Laurell勻膠機,WS1000濕法刻蝕機,Cargille光學凝膠,EDC-650顯影機,NOVASCAN紫外臭氧清洗機 |
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技術參數：
緊湊的臺式設備、符合CE 安全標準
兩個標準的氣體流量計(0.104 scfh & 0.22 scfh)
真空壓力傳感器..............................熱電偶真空計
壓力表.............................................數字壓力
壓力范圍..........................................1 -1999 毫托
氣體通路..........................................可同時通2路氣體
流量計1 ..........................................參考刻度值65mm（4~49 mL/min）
49 毫升/分鐘的zui大流量 大氣（0 PSIG）*
流量計2 ...........................................參考刻度值65mm（10~104 mL/min）
104 毫升/分鐘的zui大流量 大氣（0 PSIG）*
流量計精度....................................... 滿刻度的± 2％
流量計zui大工作壓力/溫度................ 200 PSIG / 250℉（121℃）
不銹鋼氣源輸入接口......................... dia.6mm
不銹鋼氣源輸出接口......................... dia.6mm
常用工作氣體：空氣、氧氣、氬氣、氮氣或混合氣體等
