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KLA Tencor® P-7探針式輪廓儀為生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)節(jié)提供了從幾納米到一毫米的臺階高度測量功能。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行二維...

KLA Alpha-Step®D-500探針式輪廓儀能夠測量幾納米到1200微米高的2D臺階。D-500也支持在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)節(jié)中對粗糙度、彎曲度和應(yīng)力...

KLA Tencor® P-17探針式輪廓儀為生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)節(jié)提供從幾納米到一毫米的臺階高度測量功能。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行二維...

半導(dǎo)體薄膜生長表面檢測KLA Alpha-Step® D-600探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到 1200微米的2D和3D臺階高度。D-600 還支持2...

KLA HRP®-260 探針式輪廓儀是一個高分辨率、自動化探針式輪廓儀，提供從幾納米到 300 微米的臺階高度測量功能。P-260支持臺階高度、粗糙...

KLA Tencor® P-170 探針式輪廓儀是一款自動化輪廓儀，可為生產(chǎn)環(huán)節(jié)提供從幾納米到一毫米的臺階高度測量功能。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度、...