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ANRIC: AT810 經濟性原子層沉積設備 AT610 經濟性原子層沉積設備 AT200M 經濟型原子層沉積設備 AT410 經濟型原子層沉積設備 AT650/850P 臺式等離子原子層沉積設備 AT 臭氧發生器 AT650/850T 臺式熱原子層沉積設備

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AT650/850P 臺式等離子原子層沉積設備
AT650/850P 臺式等離子原子層沉積設備，其以熱系統，配備新高級空心陰極源與 60 MHz RF，有低氧污染等特點；占地小，可容納 6 英寸及更小樣品，可...

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