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產地類別 | 進口 | 價格區間 | 10萬-30萬 |
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儀器種類 | 箱式爐 | 應用領域 | 電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣,綜合 |
最大基板尺寸:210毫米 x 210毫米 x 50毫米
最高溫度:高達400°C,可選高達500°C
持續溫度:400°C
升溫速率:180 K/分鐘
降溫速率:高達120 K/分鐘
基板冷卻:水冷卻
腔室冷卻:水冷卻通道
真空度:高達10exp.-3 hPa,配備集成壓力傳感器
流量計:氮氣和其他惰性氣體的質量流量控制器
氣體:惰性氣體,其他需求可提供
控制器:帶有7英寸觸摸面板的SIMATIC©
加熱板:鋁制
腔室內高度:60毫米,可選80毫米
程序:可保存50個程序
甲酸模塊:40毫升容器,手動填充
氫氣模塊:根據需求提供
USB攝像頭:頂部USB攝像系統進行過程觀察
尺寸:430毫米 x 295毫米 x 290毫米
重量:23公斤
電源:三相,230V,50/60Hz,或者100-115V或200-208V
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