產品說明

POLOS 450 Advanced 單基片旋轉處理機，臺式版本，配備 NPP 外殼、旋轉杯、手動化學品分配裝置及重型電機?？諝鈩恿W高效腔體可提高均勻性，而天然聚丙烯或不銹鋼工藝腔室能確保工藝區域無污染且易于清潔。所有設備均具備可編程的順時針和逆時針旋轉功能以及積液功能。

適用于干燥、沖洗 / 清潔及自動涂布工藝。

規格參數：

• 可處理最大基片尺寸：圓形基片直徑 500 毫米，方形基片 350×350 毫米

• 材質：天然聚丙烯（高等級 NPP，設備主體及所有接觸液體的表面）

• 配置：手動化學品分配裝置、2 條自動靜態分配管路

• 蓋體：氣動開啟與關閉

• 吸盤配件：含 1 個真空吸盤，可適配最多 3 種晶圓尺寸

• 最大轉速：1500 轉 / 分鐘

• 化學品分配方式：可自動順序分配或并行分配

• 透明蓋體：中心周圍配備 6 組噴射器組件（每組均可獨立編程）

• 旋轉功能：順時針及逆時針積液旋轉

• 顯示屏：（可拆卸）彩色觸摸屏，帶可自定義圖標

• 排水接口：標準 1 英寸接口

• 電機控制器：精密數字控制器（最大 1500 轉 / 分鐘）

• 泵組模塊：獨立模塊，內置 6 個蠕動泵