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產品簡介
詳細介紹
CVD-1200系統由滑動式開啟式真空管式爐，混氣系統，真空及壓力系統等組成。此系統燒結溫度可達1200℃，通過滑動爐體來實現快速的升降溫；配置不同的真空系統來達到理想的真空度；同時通過三路高精度質量流量計控制不同氣體。 | |
技術參數： | |
爐體結構 | 雙層爐殼間配有風冷系統，有效保證外殼表面溫； 日本技術真空吸附成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好 爐子底部裝有一對滑軌，移動平穩 爐子可以手動從一端滑向另一端，實現快速的加熱和冷卻 支撐兩端安裝油壓緩沖器 爐蓋可開啟，可以實時觀察加熱的物料 |
電源 | 電壓：AC220V 50/60Hz；功率：4KW |
爐管 | 高純石英管，高溫下化學穩定性強，耐腐蝕，熱膨脹系數極小 尺寸：Φ40/60/80/100*1200mm |
法蘭及支撐 | SUS304不銹鋼快速法蘭，通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空 一個卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷 可調節的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐 包含進氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合 |
加熱系統 | 加熱元件采用優質合金絲0Cr27Al7Mo2，表面負荷高、經久耐用 加熱區長度：440mm 恒溫區長度：200mm 工作溫度：≤1150℃ zui高溫度：1200℃ 升溫速率：10℃/min |
溫控系統 | 溫度控制采用人工智能調節技術，具有PID調節、自整定功能30段升降溫程序 測溫元件：N型熱電偶 恒溫精度：±1℃ |
混氣系統 | 三路質量流量計：數字顯示、氣體流量自動控制 內置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥 管路采用不銹鋼管，接口為Φ6卡套 每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥 通過控制面板上的旋鈕來調節氣體流量 流量規格：0~1SLM 流量精度：±1.5% |
真空系統 | 采用雙極旋片真空泵，真空度可達5x10-1 Torr 數顯式真空壓力表 可選高真空系統及真空計，壓力控制系統等 |
可選配件 | 混氣系統,中、高真空系統，各種剛玉、石英坩堝，石英管，計算機控制軟件，無紙記錄儀，氧含量分析儀。 |