目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>PECVD氣相沉積系統(tǒng)>> CY-PECVD-500T-SS等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積PECVD
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更新時(shí)間：2025-07-30 18:41:10瀏覽次數(shù)：54評(píng)價(jià)
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PECVD技術(shù)參數(shù)：
| 供電電源 | AC220V 50Hz (歐標(biāo)) | |
| 射頻電源 | 信號(hào)頻率 | 13.56MHz |
| 功率輸出范圍 | 0~500W | |
| *大反射功率 | 100W | |
| 反射功率 (在*大功率時(shí)) | <5W | |
| 功率穩(wěn)定性 | ±0.1% | |
| 工作腔體 | 加熱溫度 | RT-1000℃ |
| 溫控精度 | ±1℃ | |
| 樣品臺(tái)尺寸 | Φ200mm | |
| 樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速 | 1-20rpm 可調(diào) | |
| 噴頭尺寸 | Φ90mm | |
| 距離 | 噴頭與樣品之間的距離40-100mm連續(xù)可調(diào) | |
| 沉積工作真空 | 0. 133- 133Pa （可根據(jù)工藝調(diào)整） | |
| 法蘭 | 上法蘭可由電機(jī)升降，基材易更換，并有可視窗口 | |
| 腔體 | 不銹鋼材質(zhì), Φ500mm * 500mm | |
| 觀察窗 | Φ100mm, 帶擋板 | |
| 供氣系統(tǒng) | 通道數(shù) | 6 |
| 測(cè)量單位 | 質(zhì)量流量計(jì) | |
| 測(cè)量范圍 | A 通道: 0～200SCCM for H2 | |
| B 通道: 0～200SCCM for CH4 | ||
| C 通道: 0～200SCCM for C2H4 | ||
| D通道: 0～500SCCM for N2 | ||
| E通道: 0～500SCCM for NH3 | ||
| F通道: 0～500SCCM for Ar | ||
| 測(cè)量精度 | ±1.5%F.S | |
| 工作壓差 | -0.15Mpa~0.15Mpa | |
| 連接管材質(zhì) | 304 不銹鋼 | |
| 氣路 | 304 不銹鋼針閥 | |
| 進(jìn)氣和出氣接口規(guī)格 | 1/4" 卡套接頭 | |
| 真空系統(tǒng) | 前級(jí)泵抽速 | 4.7L/s |
| 分子泵抽速 | 1200L/s | |
| 真空測(cè)量 | 復(fù)合真空計(jì), 范圍10-5Pa ~ 105Pa | |
| 真空度 | 5.0*10-3Pa | |
| 水冷機(jī) | 冷卻水溫度 | ≦37℃ |
| 水流速 | 10L/min | |
| 功率 | 0.1KW | |
| 冷卻功率 | 50W/℃ | |
| 空壓機(jī) | OTS-550 | |
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