目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>二合一鍍膜儀>> TN-PEC250G-HV碳鎢蒸發等離子濺射復合鍍膜儀
○ 產品介紹
TN-PEC250G-HV碳鎢蒸發等離子濺射復合鍍膜儀可進行真空蒸碳、真空熱蒸發和等離子濺射，它也可以在高純氬氣的保護之下進行多種離子處理。通過更換功能套件，設備可以在多種功能間快速切換，非常適合實驗室制作SEM樣品使用。本儀器裝有機械泵和分子泵，能夠滿足多種真空度要求，尤其能夠實現高真空，能夠有效提高鍍膜質量。
○ 適用范圍
實驗室鍍膜使用。
○ 技術參數
| 真空腔體 | 高純石英，鐘罩狀，φ250x340mm |
| 蒸發腔體 | 高純石英，鍍罩狀，帶側面開孔，尺寸φ88x150mm |
| 等離子濺射腔體 | 高純石英，鍍罩狀，帶側面開孔，尺寸φ88x150mm |
| | 等離子濺射套件 濺射電壓1600V *大電流50mA 靶面尺寸2英寸 工作真空10Pa~20Pa 工作氣氛需通入高純氬氣 |
| 熱蒸發鍍膜套件 蒸發源數量2個 *大電流100A 工作真空10^-3Pa 工作氣氛不通入任何氣體 樣品臺直徑φ60mm，可旋轉 | |
| | 碳蒸發套件 蒸發方式碳棒蒸發 *大電流160A 工作真空10^-3Pa 工作氣氛不通入任何氣體 |
| 真空系統 | 產品型號TN-GZK103-A 分子泵渦輪分子泵 前極泵雙極旋片泵 抽氣速率分子泵：600L/S綜合抽氣性能：30分鐘真空度可達：5×10E-3Pa 旋片泵：1.1L/S 極限真空5×10E-4Pa 抽氣接口KF40 排氣接口KF16 真空測量復合真空計 |
| 進氣系統 | 配有手動微調閥，接口為1/4英寸卡套接頭 |
| 供電要求 | AC 220V 50Hz |
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