目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>PECVD氣相沉積系統>> CY-PECVD60R-1200-QPECVD-R?旋轉等離子加強CVD設備
旋轉PECVD
本產品為等離子增強回轉化學氣相沉積系統（旋轉PECVD），爐管采用變徑設計，中部管徑較粗且有有混料隔板，能夠隨著爐管的旋轉將粉體或者顆粒反復混合，通過機械傳動控制工作管能360°不間斷旋轉，使得管內物料攪拌混合獲得均勻受熱效果；設備另配有等離子發生裝置，采用電感耦合與爐管連接，產生的等離子能夠滿布爐管，有效的提高反應物活化能，降低反應溫度，提高反應效率。設備配有三路質量流量計及混氣裝置，可用于向路管內通入多種氣體，同時設備配有高性能機械泵，能夠快速將爐管抽至真空；通過泵和氣路的配合可以實現多種CVD工藝。旋轉裝置十分適合在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用CVD方法進行包裹和修飾。
技術參數
| 雙溫區管式爐 | 產品型號 | CY-PECVD60R-1200-Q |
| 設備功率 | 3KW | |
| 爐管材質 | 高純石英 | |
| 爐管尺寸 | Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm（石英異型管） | |
| 爐膛長度 | 440mm | |
| 加熱區長 | 200mm+200mm | |
| 工作溫度 | 0～1150℃ | |
| 極限溫度 | 1200℃ | |
| 控溫精度 | ±1℃ | |
| 熱電偶類型 | K型熱電偶 | |
| 控溫模式 | 30段程序控溫，PID參數自整定 | |
| 顯示模式 | 高清全彩LCD觸控屏 | |
| 密封方式 | 304不銹鋼真空法蘭 | |
| 供電電源 | AC:220V 50/60Hz | |
| 旋轉速度 | 0~13rpm | |
| 傾斜角度 | 0~35° | |
| 3路質量流量計 | 產品型號 | CY-3Z |
| 氣路數量 | 3路 | |
| 流量計類型 | 質量流量計 | |
| 測量范圍 | A路：0~100sccm; B路：0~200 sccm; C路：0~500 sccm | |
| 測量精度 | ±1.5% | |
| 工作壓差 | 0.1~0.5MPa | |
| 管路接口 | 1/4英寸卡套接頭 | |
| 供電 | AC220V 50/60Hz | |
| 真空系統 | 真空泵 | 雙極旋片泵 |
| 抽速 | 1.1L/s | |
| 抽氣接口 | KF16 | |
| 泵極限真空度 | 10E-1Pa | |
| 供電 | AC220V 50/60Hz | |
| 射頻電源 | 信號頻率 | 13.56MHz±0.005% |
| 功率輸出范圍 | 0~500W | |
| *大反射功率 | 100W | |
| 射頻輸出接口 | 50Ω，N-Type，female | |
| 功率穩定度 | ≤5W |
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