目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>PECVD氣相沉積系統>> CY-PECVD50R-1200-Q等離子增強CVD系統
產品介紹：
等離子增強CVD系統由等離子發生器，三溫區管式爐、單溫區管式爐、射頻電源、真空系統組成。等離子增強CVD系統為了使化學反應能在較低的溫度下進行，利用了等離子體的活性來促進反應，因而這種CVD稱為等離子體增強化學氣相沉積法（PECVD）， 該PECVD石墨烯薄膜制備設備借助13.56Mhz的射頻輸出等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在真空腔體內形成等離子體，利用等離子的強化學活性，改善反應條件，利用等離子體的活性來促進反應，在基片上沉積出所期望的薄膜。
等離子增強CVD系統適用范圍：
等離子增強CVD系統可以用于：石墨烯制備、硫化物制備、納米材料制備等多種試驗場所。可在片狀或類似形狀樣品表面沉積SiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、納米硅、SiC、類金剛石等多種薄膜，并可沉積p型、n型摻雜薄膜。沉積的薄膜具有良好的均勻性、致密性、粘附性、絕緣性。廣泛應用于刀具、高精模具、硬質涂層、高duan裝飾等領域。
等離子增強CVD系統技術參數：
三 溫 區 管 式 爐 產品型號 CY-PECVD50R-1200-Q 爐管材質 高純石英 爐管直徑 50mm 爐管長度 2830mm 爐膛長度 660mm 加熱區長 200mm+200mm+200mm 工作溫度 0～1100℃ 控溫精度 ±1℃ 控溫模式 30段或50段程序控溫 顯示模式 LCD 密封方式 304不銹鋼真空法蘭 法蘭接口 1/4英寸卡套接頭，KF16/25/40接頭 可抽真空 4.4E-3Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz 單 溫 區 管 式 爐 產品型號 CY-O1200-50IT 爐管材質 高純石英 爐管直徑 50mm 爐管長度 2830mm 爐膛長度 440mm 加熱區長 400mm 恒溫區長 200mm 工作溫度 0～1100℃ 控溫精度 ±1℃ 控溫模式 30段或50段程序控溫 顯示模式 LCD 密封方式 304不銹鋼真空法蘭 法蘭接口 1/4英寸卡套接頭，KF16/25/40接頭 可抽真空 4.4E-3Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz RF 輸 出 系 統 功率范圍 0~500W可調 工作頻率 13.56MHz+0.005% 工作模式 連續輸出 顯示模式 LCD 匹配阻抗模式 能夠匹配，起輝均勻布滿三溫區爐管 功率穩定度 ≤2W 正常工作反射功率 ≤3W 放大反射功率 ≤70W 諧波分量 ≤-50dBc 整機效率 ≥70% 功率因素 ≥90% 供電電壓/頻率 單相交流（187V~153V） 頻率50/60Hz 控制模式 內控/PLC 模擬量/RS232/485通訊 電源保護設置 DC過流保護，功放過溫保護，反射功率保護 冷卻方式 強制風冷 起輝長度 在Ar下射頻電源與線圈配合起輝輝光能布滿三個溫區的爐體長度 供 氣 系 統 四路質子流量計 質子流量計 流量范圍 MFC1量程：0~200sccm MFC2量程：0~200sccm MFC3量程：0~500sccm MFC4量程：0~500sccm 分別對應氣體H2、 CH4、 N2、 Ar、 測量精度 ±1.5%F.S 重復精度 ±0.2%FS 線性精度 ±1%F.S. 響應時間 ≤4s 工作壓力 -0.15Mpa~0.15Mpa 流量控制 液晶觸摸屏控制，數字顯示，每路氣體含有針閥單獨控制 進氣接口 可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管 出氣接口 可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管 連接方式 雙卡套接頭 工作溫度 5~45℃ 氣體預混 配氣體預混裝置 供電電源 AC:220V 50/60Hz 排 氣 系 統 機械泵 旋片泵 抽氣速率 1.1L/S 排氣接口 KF16 真空測量 電阻規 極限真空 1.0E-1Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz 抽氣接口 KF16 軌道 軌道長度 3米，能實現三溫區爐子一個爐位長度的滑動，實現快速升降溫
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