目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>CVD氣相沉積系統(tǒng)>> CY-VPC-300派瑞林真空氣相沉積
派瑞林真空氣相沉積具有一些優(yōu)點，如沉積速度快、沉積均勻性好、可控性強等。然而，它也存在一些限制，如無法沉積大面積薄膜、需要高真空環(huán)境等。
總的來說，派瑞林真空氣相沉積是一種重要的薄膜制備技術(shù)，可以在各種應(yīng)用中提供高質(zhì)量的薄膜材料
| 設(shè)備名稱 | 派瑞林真空氣相沉積設(shè)備 | |
| 產(chǎn)品型號 | CY-VPC-300 | |
| 工作環(huán)境 | 電源：380V 五線 4 平方以上電纜，*大功率 l0KW | |
| 環(huán)境溫度：0-40℃ | ||
| 環(huán)境濕度：＜90% | ||
| 尺寸 | 外觀尺寸 1580*880*1550mm，占地面積約 1.5 平米， 安裝時周圍要留有50cm 以上的操作空間 | |
| 加熱部分 | 升華區(qū) | 原料倉：φ69*200mm 容量:300g |
| 蒸發(fā)溫度：室溫 200℃ | ||
| 溫度偏差:±2℃ | ||
| 裂解區(qū) | 裂解溫度:650-700℃ 溫度穩(wěn)定性: ±2℃ | |
| 保溫區(qū) | 加熱溫度＜300℃ | |
| 控制系統(tǒng) | 品牌 | PLC 控制系統(tǒng) |
| 程序 | 為自動沉積系統(tǒng)和手動沉積系統(tǒng)兩部分 | |
| 顯示 | 顯示屏尺寸:12 寸觸摸彩屏 | |
| 沉積系統(tǒng) | 真空應(yīng)體 | 1 個，尺寸φ300xH400 , 304 不銹鋼 |
| 腔體容積 | 28L | |
| 觀察窗 | 1 個觀察窗口，便于觀察產(chǎn)品在沉積室的狀態(tài) | |
| 旋轉(zhuǎn)部分 | 馬達轉(zhuǎn)速可調(diào) 1-10 轉(zhuǎn)／分 | |
| 真空系統(tǒng) | 真空泵 | |
| 真空計 | ||
| 制冷系統(tǒng) | 天寒TH-95-15-G(鍋式)，制冷溫度≤90℃制冷啟動后30分鐘內(nèi)可從室溫到-70℃ | |
| 偶聯(lián)劑蒸發(fā)裝置 | 提高派瑞林涂層與需要做涂層基材表面的結(jié)合力 | |
| 設(shè)備主要部件 | 1、蒸發(fā)系統(tǒng)： 蒸發(fā)艙、電力n熱裝置、溫度傳感器 2、裂解系統(tǒng)：裂解艙 、電力日熱裝置、溫度傳感器 3、沉積系統(tǒng)：沉積艙 、真空傳感器 、樣品架 4、真空系統(tǒng)： 真空泵、真空計 5、冷凝系統(tǒng)：鍋式冷阱 6、設(shè)備主機：設(shè)備外殼、控制電路、真空管道 7、石英管： 1根 | |
| 可沉積原料類型 | Parylene C、N、F、D | |
| 設(shè)備特點 | 1、氣化加熱可移動，適合連續(xù)生產(chǎn)，如出現(xiàn)突然停電等意外情況可以隨時移掉加熱，保證產(chǎn)品**． 2、氣化部分部分為透明玻璃管，可以隨時查看料的情況，并可以保持低溫生產(chǎn)，滿足高要求鍍膜． 3、氣化可以移動，是派坷**設(shè)置，可以保證無**沖突，生產(chǎn)**。 4、腔體內(nèi)部轉(zhuǎn)架特殊設(shè)計可以有效減少壞點的數(shù)量． 5、可視化、人性化界面，操作簡單易懂． 6、玻璃管，可以大大降低升溫降溫時間． 7、保溫部分做優(yōu)化，使得派瑞林不易在玻璃管內(nèi)壁沉積，可以長期不用保養(yǎng)，減少保養(yǎng)時間 | |
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