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日立鎢燈絲掃描電鏡的維護與保養(yǎng)
閱讀：866 發(fā)布時間：2022-3-21
日立鎢燈絲掃描電鏡的整套設(shè)備是由電子槍、電磁透鏡、樣品倉和真空系統(tǒng)、控制電路，以及控制計算機和外圍輔助設(shè)施等部件組裝而成的。用戶在維護時通常要清洗和保養(yǎng)的主要部位是電子槍、鏡筒和真空系統(tǒng)的真空泵等，若是鎢燈絲掃描電鏡，電子槍柵極到陽極區(qū)間是受鎢陰極蒸汽污染最嚴重的地方，應(yīng)定時對柵極片的污染部位進行清潔。
日立鎢燈絲掃描電鏡的維護與保養(yǎng)包含以下五個個方面：
1、襯管的拆卸與清潔
打開鏡筒上部的發(fā)射倉頂蓋，使用專業(yè)工具來提取鏡筒中的襯管，提取過程取出之后，然后再用專用工具的另外一根專用工具插入襯管中，慢慢推出襯管中的幾個光闌。襯管和光闌清洗完成后，經(jīng)烘烤后趁熱依照光闌的原來的順序倒過來，按專用工具上的規(guī)定的距離刻度依次推進到襯管中的原位置。
2、光闌的清潔
普通光學顯微鏡的光闌不容易受損和污染，所以光闌的壽命幾乎是永jiu性的。但是掃描電鏡的光闌不同，它需要經(jīng)常清洗和更換。電子光學通道中的光闌在電子束的照射下，正是污染物最容易沉積的地方，由真空系統(tǒng)中的碳氫形成的聚合物慢慢沉積在光闌的表面，特別是光闌的上表面。
3、閃爍體的保養(yǎng)
現(xiàn)在電鏡上使用的閃爍體多數(shù)是用潔凈而無氣泡的玻璃作基材，再在其上面涂覆一層P-47/46無機材料作為發(fā)光層，然后蒸鍍一層越70nm的鋁膜作為電極，雖然性能良好，但是在使用半年后，發(fā)光效率仍然會慢慢變差，整體性能會開始有所下降。
4、真空系統(tǒng)的維護
在真空系統(tǒng)中，需要經(jīng)常檢查機械真空泵和油擴散泵的油面，一旦發(fā)現(xiàn)油面下降應(yīng)及時加油。機械泵若缺油不僅會磨壞軸套上的油封密封圈，而且對機械泵的旋片端頭和內(nèi)腔壁也可能會造成永jiu性的損傷，使極限真空度下降。用真空計檢查真空度是必要的，為了提高真空系統(tǒng)的可靠性，延長各部件的使用壽命，隨時做好維護和保養(yǎng)的措施。
5、冷水機的維護
1)應(yīng)經(jīng)常檢查冷水機的水管連接是否安全，牢靠，冷水機的流量、溫度和壓力是否合適。
2)建議每個月都應(yīng)檢查水箱的水位，一旦水位下降，應(yīng)及時補充，只能補充蒸餾水。
3)為防止水中微生物或游離性的有機雜質(zhì)，以免妨礙水的流動，影響冷卻效果，最好應(yīng)在水中添加殺菌劑，水箱中的蒸餾水至少每年更換一次。
4)對于壓縮機的風冷過濾網(wǎng)和散熱風扇的葉片每6個月清洗一次，清洗完成之后都應(yīng)在風扇軸承上加1-2滴油。
5)為減少水垢對流量和制冷量的影響，建議每隔5年清洗管路。