AE Navigator Series 射頻匹配網(wǎng)絡(luò)可實(shí)現(xiàn)快速、精確、可靠的數(shù)字調(diào)諧匹配，AE Navigator 10013 射頻匹配器 13.56MHz 10KW RF Matching Box 射頻匹配網(wǎng)絡(luò) 使用*的數(shù)字技術(shù)可縮短調(diào)諧和匹配響應(yīng)時(shí)間。

AE Navigator Series 射頻匹配網(wǎng)絡(luò)具有優(yōu)秀的射頻等離子體控制方法，高級(jí)脈沖控制，可在脈沖時(shí)調(diào)諧，通過(guò)集成的內(nèi)部射頻傳感器深入監(jiān)測(cè)等離子體。內(nèi)部射頻傳感器可實(shí)時(shí)分析過(guò)程功率和阻抗，幫助客戶快速識(shí)別并明顯減少工藝偏差。選配的虛擬前面板軟件，可通過(guò)用戶計(jì)算機(jī)進(jìn)行監(jiān)測(cè)和控制。

技術(shù)參數(shù)

Power ：1 ~ 30KW

Frequency ：400KHz ~ 60MHz

Other ：Single and multiple frequency capable, ICP and CCP capable

AE Navigator 10013 射頻匹配器 13.56MHz 10KW RF Matching Box 射頻匹配網(wǎng)絡(luò)

優(yōu)點(diǎn)

1.快速調(diào)諧和縮短匹配響應(yīng)時(shí)間

2.加強(qiáng)過(guò)程控制

3.提高設(shè)備效率和產(chǎn)品產(chǎn)量

4.提高可靠性，降低擁有成本

5.自定義各種腔室和工藝過(guò)程

特點(diǎn)

1.數(shù)字架構(gòu)，采用基于模型的快速調(diào)諧算法

2.脈沖射頻供電

3.掃頻操作

4.互調(diào)失真（IMD）抗擾，針對(duì)多頻率應(yīng)用

5.實(shí)時(shí)工藝功率和阻抗測(cè)量