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當前位置：江蘇神州半導體科技有限公司>>匹配器（RF Match）>>AE Navigator Series>> AE Navigator 3013Navigator 3013 射頻匹配器 13.56MHz 3KW
| 供貨周期 | 現貨 | 貨號 | 3155132-005 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,電子/電池,電氣,綜合 | 主要用途 | Matching Box 射頻匹配網絡 |
| 型號 | Navigator?3013 | M/N | 3155132-005 |
| P/N | 0190-29997-001 | 頻率 | 13.56MHz |
| 輸出功率 | 3000W | 設備狀態 | Refurblished |
AE Navigator Series 射頻匹配網絡可實現快速、準確、可靠的數字調諧匹配，AE Navigator 3013 射頻匹配器 13.56MHz 3KW Matching Box使用*的數字技術可縮短調諧和匹配響應時間。
AE Navigator Series 射頻匹配網絡具有優秀的射頻等離子體控制方法，高級脈沖控制，可在脈沖時調諧，通過集成的內部射頻傳感器深入監測等離子體。內部射頻傳感器可實時分析過程功率和阻抗，幫助客戶快速識別并明顯減少工藝偏差。選配的虛擬前面板軟件，可通過用戶計算機進行監測和控制。
AE Navigator 3013 射頻匹配器 13.56MHz 3KW Matching Box技術參數
Power ：1 ~ 30KW
Frequency ：400KHz ~ 60MHz
Other ：Single and multiple frequency capable, ICP and CCP capable
優點
1.快速調諧和縮短匹配響應時間
2.加強過程控制
3.提高設備效率和產品產量
4.提高可靠性，降低擁有成本
5.自定義各種腔室和工藝過程
特點
1.數字架構，采用基于模型的快速調諧算法
2.脈沖射頻供電
3.掃頻操作
4.互調失真（IMD）抗擾，針對多頻率應用
5.實時工藝功率和阻抗測量
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