目錄:徠飛光電科技(深圳)有限公司>>波前分析設備>>波前分析儀>> 紫外波前分析儀SID4-UV
| 應用領域 | 綜合 |
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紫外波前分析儀SID4-UV是Phasics針對半導體應用市場需求推出的一款高性價比的紫外波前分析儀，波長范圍覆蓋190nm~400nm，靶面尺寸為7.8X7.8mm2，提供300X300的采樣率，同時能夠提供26um的相位空間分辨率；該產品既能夠滿足深紫外激光器的高分辨率測量要求，也能夠滿足半導體的光學器件的品質管控測量和半導體晶圓面型的測量。
應用領域：193nm激光光束測量
半導體設備用鏡頭測量
半導體表面缺陷測量
紫外波前分析儀SID4-UV指標規格 | |
波長范圍 | 190nm~400nm |
靶面尺寸 | 7.8X7.8mm2 |
相位空間分辨率 | 26um |
相位譜&光強譜采樣率 | 300X300 |
相位分辨率 | <2nm RMS |
精度 | 15nm RMS |
采樣頻率 | 15fps |
實時相位輸出頻率 | 2fps（全分辨率） |
通信接口 | Giga Ethernet |
尺寸 | 74 x 71 x 91 mm3 |
重量 | 約600g |
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