ART130SZ系列 直線電機機械臺-Z向單軸是納米級定位精度的垂直運動平臺，直線電機驅動，采用交叉滾柱導軌，具備非常優秀的動態性能和定位精度，空載截止頻率可達100Hz以上。

ART130SZ系列平臺采用超薄設計，能有效節省安裝空間，是ART130系列水平運動納米運動臺的有效補充，雙氣缸平衡設計，通過氣缸平衡負載重量，能有效避免電機長時間工作發熱現象，具備高剛性和高可靠性。

ART130SZ系列平臺雖然結構緊湊但是有較強的驅動能力，速度可達500mm/s，空載加速度可達1g。配置線性放大器，帶隔振實驗室環境下，ART130SZ系列平臺的在位穩定性3nm和最小步進量可以小于5nm，主要應用于通訊領域的光纖耦合、半導體領域的晶圓缺陷檢測、生物醫療領域的基因測序以及激光微納加工等，可以根據客戶的應用提供靈活的定制方案。

ART130SZ系列平臺最小步進和在位穩定性測試

5nm最小步進（ASH反饋選項，配置線性放大器）

<3nm在位穩定性（ASH反饋選項，配置線性放大器）