地心科技CFTCA系列 直線電機機械臺-XY是納米級定位精度的XY一體式精密定位平臺，直線電機驅動，采用精密交叉滾柱導軌，具備非常優秀的動態性能和定位精度，空載截至頻率可達100Hz以上。CFTCA系列采用杰出的工業化設計，外觀設計及幾何尺寸非常合理，CFTCA-150XY全行程平面度和直線度小于±2μm，安全中空尺寸可達40mm*40mm；CFTCA-250XY全行程平面度和直線度小于±4μm，安全中空尺寸可達50mm*50mm是光學測量檢測領域的關鍵部件。

CFTCA系列平臺結構精致緊湊，但是有較強的驅動能力，上軸速度1000mm/s，空載加速度可達1g。配置線性放大器，帶隔振實驗室環境下，CFTCA系列中空平臺的在位穩定性3nm，最小步進量可以小于5nm，由于其中空特性，它主要應用在雙面測量檢測、生物樣片加工和觀測、薄膜和油墨厚度測量等需要納米級定位精度和中空設計的工業領域與科研項目。

CFTCA系列平臺在位穩定性和最小步進測試

備注：

(1)經過定制2D校準后，正交性可達到 5 arc sec；

(2)適配-AS反饋，配置線性放大器；

(3)空載，需配置相應功率的放大器；

(4)默認測試點位置為臺面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際載荷和工作點位置有關；

(5)其他行程可定制（例如：行程350mm*350mm）。