ONEXY系列 直線電機機械臺是納米級定位精度的XY一體式精密運動平臺，直線電機驅動，采用開放式結構，具備非常優秀的性能和定位精度，空載截止頻率可達120Hz以上。ONEXY系列采用杰出的工業化設計，外觀設計及幾何尺寸非常合理，例如，ONEXY-250-250負載能力可以達到45kg，全行程平面度和直線度小于±2μm，是一款兼顧重負載和高精度的XY平臺，可以與Surface-Z聚焦升降臺、Surface-Theta微調轉臺組成多軸配置來滿足客戶應用。

ONEXY系列 直線電機機械臺平臺結構緊湊，有較強的驅動能力，下軸采用雙電機驅動，上下軸空載速度均可達到2000mm/s，空載加速度可達2g。ONEXY系列平臺具備豐富的行程選項，有250mm*250mm，350mm*350mm和500mm*500mm三種選擇，電子分辨率1nm，最小步進小于20nm，它兼顧了大行程，高精度，重負載，低側向高度等所有優點，主要應用在測量、晶圓檢測，表面粗糙度檢測，激光切割等需要納米級定位精度的工業領域和科研項目。

ONEXY系列平臺在位穩定性、最小步進測試：

±10nm在位穩定性（P-P值，采樣頻率2K，采樣時長5s，配置線性放大器）

20nm連續5步（配置線性放大器）

備注：

（1）空載，需配置相應功率的放大器；

（2）適配-AS反饋，以及線性放大器；

（3）默認測試點位置為臺面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際載荷和工作點位置有關；

（4）其他行程可定制（例如：300mm*250mm）。