ACT85LM系列 直線電機機械臺采用直線電機驅動，直驅電機速度快、動態性能好、摩擦力小，易于實現精密位置控制，非常適合大行程，高速度和高精度應用。

ACT85LM系列運動平臺使用高分辨率光柵，電子分辨率可達1nm，通過校準可使平臺可達至亞微米級重復性和定位精度。而低摩擦側密封系統保護其免受灰塵或顆粒污染，保證其長時間正常運行，延長維護周期。 ACT85LM系列平臺為客戶提供線纜管理選項、低摩擦側密封、金屬硬殼上蓋的設計讓平臺在性能可靠的前提下更簡練而具美感，使日常維護更簡易。

ACT85LM系列 直線電機機械臺高性能機械式直線導軌運動平臺是精密機械中的關鍵部件之一，它主要應用于OLED切割、PCB鉆孔、數控加工、生物技術、IC封裝設備、表面形貌測量等領域。為客戶提供一個能夠實現精密定位，高速度和大負載的精密運動平臺。

ACT85LM系列平臺最小步進和動態性能測試

100 nm最小步進（實驗室環境）

此圖型為150mmX75mm毫米的操場型圖形，其中4個拐角半徑大約4.5mm

1.2秒完成加工，動態跟隨誤差小于12μm

備注：

(1)空載，需配置相應功率的放大器；

(2)適配-AS反饋，以及16位反饋細分；

(3)默認測試點位置為臺面上方25 mm，單軸指標，多軸系統的性能指標與實際載荷和工作點位置有關；

(4)雙動子可安裝ART系列Y軸。